판매용 중고 SPEEDFAM DSM22B-6PV-V4MH #9273142

SPEEDFAM DSM22B-6PV-V4MH는 최첨단 웨이퍼 연삭, 랩 및 연마 (WGLP) 장비입니다. 최대 6 인치 직경의 웨이퍼를 수용 할 수 있으며 반도체 재료 응용을위한 사전/사후 처리에 이상적입니다. 이 시스템은 수직 스핀들 모터 (spindle motor), 2 개의 카운터 회전식 그라인딩 디스크 (grinding disc) 및 2 개의 다이아몬드 플래튼 (platen platens) 으로 구성되며 사용 된 마모와 플래튼 재료에 따라 다양한 프로세스를 제공합니다. 또한, 연삭 디스크 속도 및 수직 스핀들 모터 속도를 별도로 제어 할 수있다. WGLP 공정을 최적화하기 위해, 물 노즐은 그라인딩 휠 (grinding wheel) 과 웨이퍼 표면 (wafer surface) 을 물로, 진공 노즐은 그라인딩 공정으로 생성 된 먼지를 안전하게 처리하기 위해 빨아들입니다. 이 장치는 신뢰할 수있는 활동력 제어 (Action Force Control) 를 가지고 있으며, 이 과정에서 연삭/연마력의 안정성을 보장합니다. 또한 고급 제어기 (advanced control machine) 는 프로세스 도중 실시간 작업 제어를 제공하며, 장애가 발생하면 경고 도구가 연산자에게 경고를 보냅니다. 이 자산은 비용 효율적이며 매우 정밀한 표면 처리를 제공합니다. 운영, 유지 보수가 쉽고, 갈기, 랩, 폴링 웨이퍼가 필요한 사람들에게 이상적인 선택입니다.