판매용 중고 SPEEDFAM DSM 9B-5P-V #9166339

ID: 9166339
빈티지: 2001
Double sided lapping machine 2001 vintage.
SPEEDFAM DSM 9B-5P-V는 향상된 수율, 비용 효율, 사이클 시간을 위한 이중 처리 기능을 갖춘 고급 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 다듬기 장비입니다. 이 시스템은 복잡한 장치 기능을 만들기 위해 실리콘, 갈륨 비소, 게르마늄 세라믹 및 기타 기판을 가공하기 위해 특별히 설계되었습니다. 이 장치는 고속 회전 (high-speed spinning) 디스크를 사용하여 높은 수준의 정확도로 실리콘 기판의 표면을 갈아서 랩합니다. 또한, DSM 9B-5P-V는 기질을 필요한 표면 마감으로 연마하기 위해 행성 연마 헤드를 포함한다. SPEEDFAM DSM 9B-5P-V 머신은 2 개의 독립적 인 스핀들을 조합하여 한 번에 최대 2 개의 웨이퍼를 처리합니다. 이 구성은 복잡한 기판을 가공할 때 주기 시간을 줄이고, 수익률 및 비용 효율성을 향상시킵니다. 각 스핀들은 독립적으로 제어 된 스핀들 드라이브 모터 (spindle drive motor) 와 마비 방지 스핀들 디스크 (spindle disk) 를 사용하여 효율적이고 정밀한 그라인딩 및 랩핑 작업을 수행합니다. 행성 연마 헤드는 제어 가능하고 조절 가능한 압력 헤드, 다중 행성 단계, 연마 정확도 증가를위한 플로팅 엔드 이펙터 (floating end effector) 로 구성됩니다. DSM 9B-5P-V는 간단하고 직관적인 작동을 위한 프로그래밍 가능한 컨트롤러와 GUI (그래픽 사용자 인터페이스) 를 갖추고 있습니다. 이 도구는 최대 8 "의 웨이퍼 크기를 수용 할 수있는 공압 작동 셔틀 로더와 정밀 기판 배치를위한 중량 인덱서 (heavy-duty indexer) 로 설계되었습니다. 또한, 이 자산에는 효율적인 주기 시간 및 안전성을 위해 온보드 레시피 저장 및 회생 제동 기능이 있습니다. SPEEDFAM DSM 9B-5P-V에는 머시닝 작업 중에 작은 입자를 제거하는 초고효율 먼지 수집 모델이 장착되어 있습니다. 이 장비는 또한 안전하고 오염 없는 작업 환경을 유지하기 위해 업계 최고의 여과 시스템을 갖추고 있습니다. 또한 DSM 9B-5P-V 는 모든 적용 가능한 안전 지침 (Safety Directive) 및 배출 (Emission) 표준을 준수하도록 설계되었으며, 포괄적인 안전 기능이 포함되어 있습니다. 결론적으로, SPEEDFAM DSM 9B-5P-V는 복잡한 기판을 가공하면서 뛰어난 정확성과 성능을 제공하도록 특별히 설계된 고급 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장치입니다. 이 기계에는 이중 스핀들, 프로그래밍 가능한 컨트롤러 및 사용자 인터페이스, 공압 작동식 셔틀 로더, 먼지 수집 도구, 향상된 수율, 비용 효율성, 사이클 시간을 위한 다양한 안전 기능이 포함되어 있습니다.
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