판매용 중고 SPEEDFAM DSM 9B-5P-V #9166335

ID: 9166335
빈티지: 2001
Double sided lapping machine 2001 vintage.
SPEEDFAM DSM 9B-5P-V는 반도체 및 기타 웨이퍼 제품을위한 최첨단 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 차세대 반도체 생산 운영을 위해 특별히 설계된 이 시스템은 탁월한 표면 마무리 (surface finish), 향상된 수율, 높은 처리량을 제공합니다. DSM 9B-5P-V는 진공 챔버에서 발생하는 일련의 연삭, 랩핑 및 연마 작업으로 구성됩니다. 연삭 단계 는 "다이아몬드 '가 함락 되었거나" 컵' 바퀴 를 사용 하여 정밀 하게 조종 된 환경 에서 "웨이퍼 '의 양면 을 갈아서 균일 한 표면 마무리 를 보장 한다. 그런 다음, "랩핑 '공정 은 정밀 발전기" 모듈' 을 이용 하여 통일 한 "랩핑 '압력 과 느린 속도 를 전달 하여 목표 마무리 를 달성 한다. 마지막으로, 연마 단계는 100 ~ 2700 등급의 연마제 연마 액체 슬러리를 사용하여 거울 마무리를 생성합니다. SPEEDFAM DSM 9B-5P-V에는 작업을 개선하는 다양한 기능이 장착되어 있습니다. 이 장치의 고속 드라이브 (High Speed Drive) 와 고급 제어 기술 (Advanced Control Technology) 은 정밀 제어를 통해 최대 10,000RPM 의 고속 처리를 가능하게 합니다. 또한 이 시스템은 원격 SCADA 모니터링 기능을 통해 현재 처리 상태를 주기적으로 보고할 수 있습니다. 또한 DSM 9B-5P-V 는 다양한 안전, 품질 관리 및 유지 관리 기능을 제공합니다. 안전 도구 (Safety Tool) 는 액세스, 동작 및 진동을 제어하고 에너지 소비를 모니터링하여 기계와 그 운영자를 보호합니다. 품질 관리 서비스에는 웨이퍼 감지 (wafer detection) 용 비전과 레이저 시스템, 예방 품질 측정 (barcode-based part tracking) 이 포함됩니다. 유지보수는 움직이는 모든 부품 (예: 그라인딩 헤드, 슬러리 펌프) 을 모니터링하는 센서로 단순화됩니다. 이 자산에는 중앙 집중식 윤활화 (lubrication) 모델도 포함되어 있어 유지 보수 및 서비스를 신속하게 수행할 수 있습니다. SPEEDFAM DSM 9B-5P-V는 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마를위한 업계 최고의 장비입니다. 다양한 기능으로, 탁월한 표면 마무리 기능, 향상된 수율, 높은 처리량을 제공합니다. 차세대 반도체 생산에 이상적입니다.
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