판매용 중고 SPEEDFAM DSM 9B-5P-IV #9166344
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ID: 9166344
빈티지: 2000
Double sided lapping machine
200V / 50Hz
Currently warehoused
2000 vintage.
SPEEDFAM DSM 9B-5P-IV (SPEEDFAM DSM 9B-5P-IV) 는 고급 엔지니어링으로 설계된 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비로, 웨이퍼를 포함한 다양한 기판에서 우수한 결과를 얻을 수 있습니다. 전체 시스템은 지원 프레임 워크, 웨이퍼 로딩 및 언로드 시스템, 개별 웨이퍼 카세트, 광학 표면 측정 장비, 연삭, 랩핑 및 연마 장치로 구성됩니다. 이 캐리지는 최대 10 개의 웨이퍼 카세트를 지원하도록 설계되었으며, 각 캐리지는 최대 8 개의 웨이퍼를 수용 할 수 있습니다. 기계는 최대 80 개의 20 인치 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 연삭, 랩핑 및 연마 도구는 연삭 턱 (grinding jaw) 과 랩핑 휠 (lapping wheel) 을 갖춘 모터 구동 스핀들 (motor-driven spindle) 로 구성되며 규제 된 주파수 구동으로 구동됩니다. 스핀들 (spindle) 은 제어 및 안전 메커니즘을 수용하는 안정적인 프레임으로 지원됩니다. "에셋 '은 자동화 되어" 그라인딩' 과 "랩핑 '을 위하여 각도 와 깊이 를 여러 가지 로 선택 할 수 있다. 또한, 모델에는 다양한 종류의 웨이퍼 (wafer) 및/또는 서피스 마무리 (surface finish) 요구 사항에 맞게 조정하기 위해 가변 속도 설정을 선택할 수 있습니다. 공정이 끝나면, 장비는 표면 거칠기 (surface roughness), 입자 크기 (particle size) 및 기타 관련 피쳐를 측정 할 수 있습니다. 또한 연삭 및 랩핑 (예: 버링) 으로 인한 표면의 불규칙성을 감지 할 수 있습니다. 기능 및 기능으로 인해 DSM 9B-5P-IV는 웨이퍼의 정밀 표면 마감이 필요한 모든 응용 프로그램에 적합합니다. 이 시스템은 반도체, 전자, 의료 및 금속 제조를 포함한 산업에 이상적입니다. 또한, 초보적으로 친숙한 사용자 인터페이스와 다양한 자동 (automated) 기능을 통해 연구/교육 기관을 완벽하게 선택할 수 있습니다.
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