판매용 중고 SPEEDFAM DSM 9B-5P-IV #9166343
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SPEEDFAM DSM 9B-5P-IV는 SPEEDFAM Corporation이 개발 한 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 다듬기 장비입니다. 이러 한 "아트 '장비 상태 는 여러 가지" 응용프로그램' 에 대한 정확 한 정확성 을 제공 한다. 실리콘, 석영, 세라믹, 유리, 금속 등 다양한 기판과 함께 작동하도록 설계되었습니다. 이 시스템은 기본적으로 모듈식이며, 애플리케이션의 특정 요구를 충족할 수 있는 다양한 구성요소 및 구성을 제공합니다 (영문). 단위의 중심에는 연삭 작업 (grinding task) 을 위해 가변 속도로 회전하는 연삭 휠 (grinding wheel) 이 있습니다. 바퀴 는 "서보 모터 '에 의해 구동 되며, 최적 의 정밀 제어 를 위한" 피드백 머신' 을 갖추고 있다. 그라인딩 휠 (grinding wheel) 에는 2 개의 평면에서 움직이는 연마제 피드 헤드가 동반되어 다양한 그라인딩 동작이 가능합니다. 그라인딩 헤드 (grinding head) 는 분리 도구 (separation tool) 와 결합되어 표면 마무리를 제어하고 원하는 정밀도를 유지하는 데 도움이됩니다. 랩핑 (lapping) 은 고급 속도 제어 및 정확한 위치를 제공하는 행성 랩핑 헤드를 통해 달성됩니다. 이 랩핑 헤드에는 다양한 연마물과 다이아몬드 슬러리가 장착되어 있습니다. 이들은 원하는 서피스 마무리와 정확도를 달성하도록 조정할 수 있습니다. SPEEDFAM 에셋의 연마 부분은 여러 축 동작이 가능한 연마 헤드를 특징으로합니다. 이 머리에는 원하는 표면 마무리 및 정확도를 수용하도록 조정 할 수있는 연마 패드 (polishing pad) 가 장착되어 있습니다. 그것 은 또한 연마 "에이전트 '저수지 를 갖추고 있는데, 연마 과정 에 사용 되는 연마" 에이전트' 와 "슬러리 '를 저장 하는 데 사용 할 수 있다. 마지막으로, SPEEDFAM 모델에는 프로세스에 대한 실시간 피드백을 제공하는 모니터링 장비가 장착되어 있습니다. 이 피드백 (feedback) 은 시스템을 모니터링하고 제어하고 필요한 조정에 사용됩니다. 모니터링 장치는 또한 기계의 최고 효율을 유지하는 데 도움이됩니다. 전반적으로 DSM 9B-5P-IV는 다양한 정밀 연삭, 랩핑 및 연마 작업에 이상적인 도구입니다. 특히 모듈식 (modular) 방식이며, 모든 애플리케이션의 고유한 요구 사항을 충족하도록 다양한 구성 요소를 조정, 사용자 정의할 수 있습니다. 또한 고급 피드백 (feedback) 자산과 정확한 정확도 제어를 통해 최고 품질의 최종 제품을 확보할 수 있습니다.
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