판매용 중고 SPEEDFAM DSM 9B-5L #9243835

ID: 9243835
Double side wafer lapping system.
SPEEDFAM DSM 9B-5L은 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마를 위해 설계된 최첨단 도구입니다. 이 장비는 최고의 효율성, 품질 및 재현성을 제공하도록 설계되었습니다. 연삭, 랩핑 및 연마 작업을 수행하는 주요 UNIT 및 Diamond Polishing을위한 SUPER DRESSER 모듈로 구성됩니다. DSM 9B-5L의 주요 플랫폼은 각 작동에 대해 영역으로 나뉩니다. wi-fi는 최대 5.1 µm 연마, 최대 0.1 µm 연마, 최대 1.2äm입니다. 플랫폼은 스테인리스 스틸 프레임과 알루미늄 플레이트 오버레이 (overlay of aluminum plate) 로 구성됩니다. 각 구역에는 세라믹 물개가 장착되어 있으며, 처리량 향상 및 가스 누출 감소 (low out gas leakage) 를위한 제어 된 분쇄압력이 제공됩니다. UNIT 는 소음 및 주변 효과를 최소화하기 위해 절연 챔버로 둘러싸여 있습니다. 연삭 및 연마 작업의 대부분은 자동화됩니다. 3 축 선형 서보 시스템을 갖춘 반전 된 공압 연삭/연마 암은 조절 가능한 힘으로 빠르고 더 정밀합니다. SUPER DRESSER 모듈은 정확하고 빠른 다이아몬드 연마를 제공하는 통합 장치입니다. 최신 다이아몬드 연마 기술을 갖추고 있으며, 최대 15,000 rpm의 높은 스핀 코팅 속도를 제공합니다. "다이아몬드 '연마" 플레이트' 는 또한 "웨이퍼 '를 최소 로 손상 시켜서 훌륭 한 연마 결과 를 낼 수 있도록 설계 되었다. 또한, 온도가 낮은 작동 기능이 있으며, 이는 섬세한 재료에 안전하고 파괴적이지 않은 연마가 가능합니다. SPEEDFAM DSM 9B-5L에는 시간, 압력, 온도의 수동 조정을 위한 터치 스크린 제어판 (touch screen control panel) 이 장착되어 있어 전체 장치를 정확하게 제어할 수 있습니다. 또한 운영, 프로세스 기록 (process history) 및 경보 기록 (alarm history) 기록이 포함된 고급 데이터 관리 기능을 통해 최적의 성능을 유지할 수 있습니다. 이 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마기는 또한 클린 룸 클래스 10 표준을 충족하며 CE 및 ISO와 같은 성능 및 안전 인증을 제공합니다. 전반적으로 DSM 9B-5L은 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마를위한 훌륭한 선택입니다. 이 고급 도구 (Advanced Tool) 는 효율적인 처리량으로 높은 정밀도를 달성하는 한편, 최상의 품질의 결과를 제공합니다.
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