판매용 중고 SPEEDFAM DSM 9B-5L #9235615
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SPEEDFAM DSM 9B-5L은 반도체 장치 제조 및 제조 공정에 사용되는 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 이 시스템은 얇고 두꺼운 (4 "- 12") 의 와퍼를 연삭, 랩핑 및 연마 할 수 있도록 설계되었으며, 정밀한 웨이퍼 배치를위한 회전 스핀들 및 플랫 턴테이블과 함께 주 제어 장치로 구성됩니다. 스핀들 (spindle) 은 가변 속도로 회전하는 모터에 의해 구동되며, 연삭, 랩핑 및 연마 공정을 정확하게 제어 할 수 있습니다. 랩핑 및 연마 과정은 미크론 크기의 연마 입자, 곡물 크기 또는 밀도, 압력, 시간 및 속도의 제어 된 조합을 사용하여 수행됩니다. 턴테이블에는 가변 속도 제어 (Variable Speed Control) 가 장착되어 있으며, 수동 속도 변경 및 주 제어 장치 (Main Control Unit) 를 통한 프로그래밍 가능성을 제공합니다. 따라서 그라인딩 (grinding), 랩핑 (lapping) 및 연마 (polishing) 프로세스의 변형을 통해 특정 웨이퍼 구성을 사용자 정의하고 정확하게 처리할 수 있습니다. DSM 9B-5L에는 자동 비상 정지 (Automatic Emergency Stop) 와 같은 다양한 안전 기능 및 프로세스 중 과도한 압력 증가를 방지하기 위해 산소 압력 안전 밸브가 장착되어 있습니다. 다른 세부 사항 (예: 그라인더에서 정적 (anti-static) 코팅 사용, 먼지 수집 장치 포함) 은 작업 환경이 안전하고 깨끗한지 확인합니다. 이 기계 에는 진동 "미터 '와 경도" 테스터' 에서 두께 의 "게이지 '에 이르는, 광범위 한 시험 과 측정 장비 가 갖추어져 있다. 이를 통해 파퍼가 연삭, 랩, 광택 후 웨이퍼에 대한 자세한 분석이 가능합니다. 결론적으로, SPEEDFAM DSM 9B-5L은 매우 신뢰할 수 있고 고급 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 도구이며, 다양한 두께와 구성의 웨이퍼를 처리하도록 설계되었습니다. 가변 속도 제어, 안전 기능, 테스트 및 측정 장비 (에셋에 포함) 와 같은 정밀 기반 기능의 범위로 인해 정확한 연삭, 랩핑 및 연마가 가능합니다.
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