판매용 중고 SPEEDFAM DSM 9B-5DPG #9233198

SPEEDFAM DSM 9B-5DPG는 다양한 어플리케이션을 위해 설계된 행성 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 이 완전 자동화 시스템은 최대 6 인치 직경의 반도체 웨이퍼의 정확한 표면 연삭, 랩핑 및 연마를위한 단일 엔드 스핀들 모터 (single-end spindle motor) 를 갖추고 있습니다. 이 장치는 특허받은 기계 설계로 고정밀, 저결함 웨이퍼 처리를 허용합니다. Hi-Mach Exchange 테이블에 장착 된 캔틸레버 (cantilevered) 단일 엔드 스핀들 모터가 특징입니다. 이 독특한 2 축 기계의 컴팩트 한 설계는 최소한의 공간 공간을 차지하면서 큰 웨이퍼 용량을 가능하게합니다. 이 도구에는 최대 400mm 의 이동 범위가있는 통합 2 축 선형 리프트 어셈블리가 있습니다. 자산의 직관적이고 사용하기 쉬운 터치스크린 인터페이스는 그리트 이송 속도 (grit feed rate), 스핀들 속도 (spindle speed), 서보이 축 동작 속도 (servoi-axes motion speed), 시작 위치 (starting position), 유지 시간 (dwell time) 및 공구 압력 등 다양한 고급 매개변수를 간편하게 제어할 수 있습니다. 또한 SPEEDFAM 특허를받은 OPA (Optical Position Aid) 가 장착되어 연삭 및 연마 프로세스의 정확성을 최적화합니다. 종합적인 성능 패키지에는 다이 부착 스테이션, 랩핑 스테이션, 선택적으로 연마 테이블, 다이 부착 접착제 응용 프로그램을위한 별도의 테이블이 포함됩니다. 다이 연결 스테이션 (Die Attach Station) 은 수동 작동을 지원하며, 랩핑 스테이션 (Lapping Station) 은 수동 또는 자동 형태의 연마 미디어 및 프로세스 매개변수로 작동 할 수 있습니다. 이 모델은 또한 수작업에서 자동으로 "재도구 (re-tooling)" 하여 보다 효율적이고 생산적인 연삭 및 연마 프로세스를 수행할 수 있습니다. 이 장비는 또한 종합적인 정확성, 성능, 안전 패키지를 갖추고 있어 안정성이 높은 작동과 최대한의 안전성을 보장합니다. 이 시스템에는 X, Y축 온도 제어, 각 다이 첨부 (Die Attach) 및 랩핑 스테이션의 통합 작업 표시등 (Operator Safety), 완전 과부하 보호 (Full Overload Protection) 및 환경으로부터 오염 가능성이있는 모든 부품의 격리가 포함됩니다. DSM 9B-5DPG는 완전 자동화된 웨이퍼 그라인딩, 랩핑, 다듬기 장치로, 특허를 받은 기계적 설계와 직관적인 사용자 친화적 터치 스크린 인터페이스를 통해 고정밀도, 저결함 웨이퍼 처리를 보장합니다. 종합적인 정확성과 안전 기능으로, 이 기계는 다양한 어플리케이션에 대해 부드럽고 안정적인 웨이퍼 그라인딩, 랩핑, 연마 기능을 보장합니다.