판매용 중고 SPEEDFAM DSM 9B-10P-lll #9224691

SPEEDFAM DSM 9B-10P-lll (SPEEDFAM DSM 9B-10P-lll) 은 다양한 재료에 걸쳐 고급 정밀 표면 마무리 및 웨이퍼의 특성을 위해 설계된 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 이 시스템은 뛰어난 수준의 표면 거칠기와 정확도를 제공하여 높은 수준의 표면 균일성 (surface unifority), 서피스 마무리 (surface finish) 및 미세 구조 (micructure) 를 제공합니다. 이 장치는 수많은 기술을 통합하여 최대 300mm 실리콘 및 복합 반도체 웨이퍼 이상의 우수한 연삭, 랩핑 및 연마 기능을 제공합니다. 기계 자체는 연삭, 랩핑 및 연마 스핀들, 2 계층, 싱글 암 로더, 3 축 은하계 광학 스캐닝 도구, 고급 고주파 인버터 컨트롤러 및 소프트웨어 배열로 구성됩니다. 스핀들은 2 개의 그라인딩 휠 (grinding wheel) 과 조정 가능한 속도 (500-3000 RPM) 의 연마 휠 (polishing wheel) 로 구성되어 있으며, 이는 많은 유형의 웨이퍼의 연삭 및 랩핑뿐만 아니라 정확한 표면 마무리를 달성 할 수 있습니다. 로더는 두 개의 웨이퍼를 수용 할 수 있습니다. 하나가 처리되면 다른 하나는 로드를 준비합니다. 광학 스캐닝 (optical scanning) 에셋은 웨이퍼 모양 또는 표면 결함을 추적하고 보상하여 일관성 있고 고정밀도 있는 그라인딩, 랩핑 및 연마를 보장합니다. 고급 고주파 인버터 (Advanced High Frequency Inverter) 는 스핀들의 힘을 제어하여 표면 마무리 품질과 균일성을 보장하며 응력과 진동을 최소화합니다. DSM 9B-10P-lll 모델의 소프트웨어 구성 요소는 직관적인 사용자 인터페이스를 제공하여 장비의 일상적인 작업을 단순화합니다. 실시간 검사 및 분석 기능, 자동 진행 중 및 사후 처리 측정, 고급 프로세스 제어 알고리즘, 3D 매핑 기능, 결함 진단 시스템 등이 있습니다. 또한, 이 시스템은 자동화된 로드/언로드 모듈, 프로세스 자동화 시스템, 맞춤형 소프트웨어 애플리케이션과 통합될 수 있습니다. 전반적으로 SPEEDFAM DSM 9B-10P-lll은 웨이퍼 표면 마무리 기술을 한 단계 높일 수 있는 강력한 도구로 설정되었습니다. 고급 기능, 다용도 기능, 직관적인 사용자 인터페이스 (User Interface) 는 연구 및 산업 운영의 요구에 매우 적합합니다.