판매용 중고 SPEEDFAM DSM 22B-6PV-4MH #9293451

ID: 9293451
빈티지: 2007
Double sided polishing machine 2007 vintage.
SPEEDFAM DSM 22B-6PV-4MH는 고성능 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 이 시스템은 다양한 산업용 "와퍼 (wafer) '의 정밀한 모션 제어 및 최대 효율성을 제공하도록 설계된 일련의 고속 스핀들 (spindle) 과 서보 모터 (servo motor) 를 갖추고 있습니다. 강력한 스핀들 (spindle) 은 최대 6,000 rpm까지 생성 할 수 있으며, 단단하고 섬세한 웨이퍼를 연마하고 마무리하기 위해 높은 가속, 토크, 속도를 제공 할 수 있습니다. 이 장치는 전자 빔 용접 중앙 조각, 우수한 공기 베어링 (air bearing) 및 프레임을 제공하고 스핀들을 고정시키는 2 개의 장력 암 (tension arm) 을 포함한 여러 구성 요소로 구성됩니다. 기계의 온도는 고급 온도 컨트롤러 (Advanced Temperature Controller) 에 의해 유지되고 제어되며, 이는 절단 및 연삭 작업을 위해 보다 일관된 환경을 만드는 데 도움이됩니다. 이 도구에는 그라인딩 (grinding), 랩핑 (lapping) 및 연마 프로세스 사이에서 웨이퍼를 이동할 수있는 컨베이어 에셋도 포함됩니다. DSM 22B-6PV-4MH에는 웨이퍼 표면 결함을 줄이기 위해 설계된 다이아몬드 그라인딩 휠 및 연마제 랩핑 플레이트가 있습니다. 또한 전체 웨이퍼 표면에서 일관성을 보장하는 이중 헤드 광택제 (dual-head polisher) 가 있습니다. 이 모델에는 컨베이어로드 리미터 플레이트 (conveyor loaded limiter plate) 가 있으며, 이를 통해 여러 부품을 순서대로 작업할 수 있습니다. 따라서 수동 전환이 필요 없습니다. 완료된 모든 웨이퍼에 대해 최고 품질을 달성하기 위해 SPEEDFAM DSM 22B-6PV-4MH에는 진행 중 검사 도구가 장착되어 있습니다. 이 장비에는 최상의 수정/예방 유지 관리 프로토콜을 구축할 수 있는 마이크로 밸런싱 (micro-balancing) 소프트웨어가 있습니다. 마무리 프로세스의 정밀도를 높이려면 운영 정보, 작업 값 (work value), 주기 시간 데이터 (cycle time data) 를 표시하는 실시간 모니터링 장치가 제공됩니다. 요약하면, DSM 22B-6PV-4MH는 웨이퍼 생산에서 높은 정확도, 속도, 효율성을 제공하는 아트 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 기계의 상태입니다. 고급 기능 (Advanced Features) 과 컴포넌트 (Component) 를 통해 여러 부품과 프로세스에서 일관된 수준의 마무리 및 품질 관리를 수행할 수 있습니다.
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