판매용 중고 SPEEDFAM DSM 16B-5P-V #9148494
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ID: 9148494
빈티지: 2003
Double side polisher
Process: CMP
Capacity(4" Wafer): 4” 40, 6” 20 pcs
Carrier: M3 x Z142 x 5Piece
Upper platen: Φ1154 x Φ364
Lower platen: Φ1154 x Φ364
Plate thickness: Upper 50mm, lower 50mm
Rotation speed
Lower plate 10~60min-¹
Ring gear 5~30min-¹
Sun gear 5~30min-¹
Gease pump: Lube GAS-16-40
Speed controller: SMC AS205IF-06N
Air cylinder: SMC CM2C25-25
Check V/V: SMC AK-4000-02
Pressure switch: CKD P4000-8-IS17
Control panel: 067V103-99
Power unit: A1S61PN
Sequencer CPU: Q2A2CPU
Inverter
(2) FR-A520-15K
FR-A520-1.2K
Speed meter: MITSUBISHI A500
Noise filter: TDIC ZMB2203-11
Load cell: TEAC TC-10F
Air Supply: 0.55~0.6Mpa 60NL/min-¹ ¢3/8Tube
Water Supply: 0.15Mpa 20L/min¢12 Tube
Drain: Φ89
200V, 3P 50/60Hz
2003 vintage.
SPEEDFAM DSM 16B-5P-V Wafer Grinding, Lapping and Polishing Equipment는 다양한 기판 및 웨이퍼를 효율적으로 연삭, 랩 및 연마 할 수 있도록 설계된 최첨단 시스템입니다. 가변 속도 4 축 CNC 플랫폼을 사용하여 정확하고 정확한 그라인딩 파라미터 (grinding parameter) 를 제공하여 고품질 마무리로 웨이퍼를 생성합니다. DSM 16B-5P-V는 다양한 웨이퍼를 정확하고 정확하게 갈고, 랩하고, 연마하도록 설계된 16 인치 플랫폼입니다. 독립적으로 제어 할 수있는 5 개의 플래튼, 고압 랩핑 캐리지, 고압 챔버 및 통합 공기 베어링 스핀들 (spindle) 을 갖추고 있으며, 최대 5 개의 웨이퍼를 동시에 연마, 랩 및 연마 할 수 있습니다. 이 장치는 최대 400 rpm의 속도로 최대 500 um의 초미세 다이아몬드 연마 입자를 연마, 랩핑 및 연마 할 수 있습니다. 기계는 또한 미세하고 거친 마무리를 위해 다양한 다른 연마 기판을 수용 할 수 있습니다. 공구의 가변 속도 모터 (variable speed motor) 는 연삭, 랩핑 및 연마 프로세스가 일관되게 정확하고 정확한지 확인합니다. SPEEDFAM DSM 16B-5P-V 는 온도, 습도, 진동 등 다양한 조건에서 작동하도록 설계되었으며, 가장 까다로운 응용프로그램을 충족하도록 보정할 수 있습니다. 또한 멀티 포인트 안전 (Multi-Point Safety) 연동 자산 및 자동 생산 모드 (Automatic Production Mode) 를 포함하여 안전을위한 여러 기계적 시스템의 이점을 얻어 시간 경과에 따른 최고의 정확성과 일관된 고품질 결과를 보장합니다. 또한 DSM 16B-5P-V는 최첨단 컴퓨터 진단 (Computerized Diagnostics) 기술을 도입하여 모델 성능에 대한 자세한 분석을 제공합니다. 진단 (Diagnostic) 장비는 발생하는 오류 또는 결함의 원인을 파악할 수 있으며, 운영자에게 시스템 유지 관리 문제를 경고할 수 있습니다. 이렇게 하면, 비용이 많이 드는 수리 또는 다운타임을 방지하면서 제품의 효율성을 극대화할 수 있습니다 (영문). 이 장치는 또한 운영자에게 실시간 피드백 (feedback) 을 제공하여 랩핑 및 연마 작업의 진행 상황을 모니터링할 수 있습니다. 요약하면, SPEEDFAM DSM 16B-5P-V는 고도로 고급적이고 정밀한 연삭, 랩핑 및 연마 기계입니다. 그것 은 여러 가지 기판 과 "웨이퍼 '를 가공 할 수 있게 해 주며, 일반적 인 방법 과 기계 를 사용 하여 가능 한 것 보다 훨씬 더 세밀 한 마무리 를 할 수 있게 한다. 그렇다. 이를 통해, 완성된 제품이 다양한 애플리케이션의 가장 높은 표준 (standard) 이 됩니다.
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