판매용 중고 SPEEDFAM DSM 16B-5L #9276479
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ID: 9276479
웨이퍼 크기: 4"-6"
빈티지: 2011
Double side polisher, 4"-6"
Maximum down force: 500 Kg
Down force range: 0-500 Kg
Upper ring assembly weight: 530 Kg
Plate dimension:
Lapping: φ1125 x φ393 x 50 t
Polishing: φ1154 x φ364 x 50 t
Lower plate RPM: 15 to 60 RPM, 50/60 Hz
Main cylinder: φ160
Upper and lower plate driver motor: 7.5 kW
Ring gear drive motor: 2.2 kW
Sun gear drive motor: 1.5 kW
Ring gear / Sun gear Up / Down motor: 0.4 kW
Options:
Slurry pump: 0.4 kW
Agitation motor: 0.18 kW
Breaker capacity: 75 Amps
Air supply: 6 Kg/cm²
(5) Carriers
Carrier:
M: 3
Z: 142
Ring gear:
M: 3
Z: 395
Sun gear:
M: 3
Z: 110
Power supply: 220 V, 3 Phase, 50/60 Hz, 19.68 kW
Power supply: 220 V, 3 Phase, 60 Cycles
2011 vintage.
SPEEDFAM DSM 16B-5L (SPEEDFAM DSM 16B-5L) 은 최신 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비로, 검증되고 신뢰할 수있는 연마 기술을 사용하여 가능한 짧은 시간에 뛰어난 표면 마무리를 달성합니다. 이 다기능 장치는 단일 모터 구동 그라인딩 휠과 5 개의 개별 랩핑 및 연마 모듈로 구성됩니다. 제 1 모듈은 느슨하거나 슬러리 (slurry) 마모와 함께 사용할 수있는 통합 그라인딩 미디어 세트가있는 랩핑 시스템이며, 제 2 모듈은 소프트 (soft) 및 하드 (hard) 재료에서의 작업을 마무리하기위한 별도의 랩핑 휠입니다. 세 번째와 네 번째 모듈은 유리 및 다이아몬드 연마 작업을 포함한 연마 프로세스입니다. 또한, 다섯 번째 모듈은 특정 표면 마무리를 달성하기 위해 특수 압력 원 (special pressure source) 과 함께 사용하기 전용입니다. 또한 DSM 16B-5L 에는 자동 로드/언로드 장치가 포함되어 있어 설치 시간을 최소화하고 작업 효율을 극대화할 수 있습니다. 또한, 이 기계에는 CNC (Advanced Computerized Numerical Control) 도구가 장착되어 있어, 여러 구성 요소에 대해 매우 정확한 생산 기능을 제공합니다. 연산자는 처리할 각 컴포넌트에 대해 다양한 매개변수 (parameters) 를 프로그래밍할 수 있으며, 에셋은 원하는 프로세스 매개변수를 자동으로 등록합니다. 이 장치는 또한 미디어 및 연마물을 연마하기위한 완전한 기능을 제공합니다. 밀폐형 루프 냉각 모델 (closed-loop cooling model), 조절 가능한 물 스프레이 노즐 (water spray nozzle) 및 연삭 미디어에 잔해물을 최소화하고 연삭 작동의 최적의 효율성을 보장하는 먼지 처리 장비가 포함됩니다. SPEEDFAM DSM 16B-5L은 유지 관리가 용이하며, 자동화된 작동으로 인해 운영자 감독이 거의 필요하지 않습니다. 경쟁 모델보다 발 인쇄가 작으며 매우 비용 효과적입니다. 또한 정밀 모터는 매우 낮은 진동 및 노이즈 레벨을 제공합니다. 전반적으로 DSM 16B-5L은 모든 제조 환경에 적합한 선택입니다. 자동화된 동작 (automated operation) 과 정확한 결과를 통해 표면 마무리 (surface finish) 를 보다 정확하고 반복적으로 제공하는 데 의존할 수 있습니다.
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