판매용 중고 SPEEDFAM DSM 16B-5L #9245378

SPEEDFAM DSM 16B-5L은 모든 초정밀 웨이퍼 연삭, 랩핑 및 연마 작업을위한 솔루션입니다. 이 장비는 와퍼를 연삭, 랩핑, 연마 과정을 단순화하여 처리량 시간을 늘리고 가공소재 정확도를 향상시킵니다. 이 시스템은 직경이 최대 10 "인 단면 및 양면 웨이퍼를 연삭, 랩핑, 연마 할 수 있으므로 다양한 웨이퍼 응용 프로그램에 이상적인 선택입니다. DSM 16B-5L은 사용자에게 친숙한 PLC (programmable logic controller) 를 갖추고 있습니다. 이 PLC는 정확성과 반복성으로 다양한 프로세스 매개변수를 제어 할 수 있습니다. 이 장치에는 진공 척 (vacuum chuck) 및 웨이퍼 클리닝 스테이션 (wafer cleaning station) 도 포함되어 있습니다. 벨트 테이블에는 30도 기울기 범위 (tilt range) 가 있으므로 웨이퍼를 어느 각도에서 가장 정확하게 배치 할 수 있습니다. 웨이퍼 로더 (wafer loader) 와 거친 그라인딩 스테이션 (grinding station) 도 포함되어 있습니다. SPEEDFAM DSM 16B-5L에는 정밀 랩핑 및 연마기가 장착되어 있으므로 정확하고 반복 가능한 결과를 얻을 수 있습니다. 이 도구에는 이중 헤드 광택 헤드 (Dual Head Polisher Head) 가 있으며, 서로 다른 부품을 동시에 연삭하고 연마 할 수 있습니다. 이 자산에는 CNC (Computer Numerical Control) 폴리셔 (Polisher) 가 있으며, 이는 웨이퍼 연마 시 무제한의 가능성을 용이하게하기 위해 다량의 광택 프로파일을 가지고 있습니다. 또한이 모델은 저압, 저압 서브 미크론 연마가 가능합니다. DSM 16B-5L은 뛰어난 정확성과 반복성을 제공하도록 설계되었습니다. 이 장비는 화씨 0 ~ 158도의 온도에서 작동하며 웨이퍼 전송 속도는 분당 12 ~ 18 인치입니다. 또한, 이 "시스템 '에는 통합" 레이저' 장치 가 장착 되어 있는데, 이 장치 는 0.0001 "인치 '이내 의 정확도 로 연마 하는" 웨이퍼' 의 평평 함 을 측정 하는 데 사용 할 수 있다. SPEEDFAM DSM 16B-5L은 사용자에게 웨이퍼 그라인딩, 랩핑, 연마 요구 사항에 대한 완벽한 솔루션을 제공하도록 설계되었습니다. 고정밀 기능, 사용자 친화적 인 PLC, 다양한 프로세스 매개 변수 (process parameter) 를 통해 정확성과 반복성이 필요한 모든 작업에 이상적인 선택이 가능합니다.