판매용 중고 SPEEDFAM DSM 16B-5L-III #9222184
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SPEEDFAM DSM 16B-5L-III (SPEEDFAM DSM 16B-5L-III) 는 처리량 및 정확도 향상을 위해 설계된 기능을 갖춘 반도체 부품 제조를위한 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 5 축 보간 컴퓨터 수치 제어 정확도를 가진 16 "(500mm) 내부 직경 2 축 정밀 분쇄면이 장착되어 있습니다. SPEEDFAM DSM16B-5L-III는 고속 스핀들 및 CNC 공기 서보 구동 회전 테이블을 사용하여 2.5äm의 연삭 정확도를 달성하며, 연속 랩핑 설비는 8äm, 연마 작업은 0.1äm입니다. DSM 16B-5L-III에는 다양한 다이아몬드 그라인딩 휠, 광학 연마 베이스 플레이트, 강성 회전 아버, 정확한 표면 연삭 작업에 사용할 수있는 다양한 다이아몬드 압축기 등 다양한 표준 연삭, 랩핑 및 연마 도구 및 액세서리가 장착되어 있습니다. 기계는 또한 연삭 파라미터 (grinding parameters) 의 정확한 정렬을위한 특수 게이지, 안전 증가를위한 투명 커버, 먼지 및 잔해 수집을위한 조정 가능한 진공 시스템 (vacuum system) 을 특징으로합니다. 쉽게 프로그래밍 할 수있는 CNC 장치는 기계의 작동을 제어하는 데 사용되며, 연산자는 표면 속도, 이송 속도, 작업 압력 및 기타 매개변수를 조정 할 수 있습니다. 이 기계는 연삭, 랩핑, 연마 과정에서 반복성 및 정확성 향상을 위해 소프트웨어 제어 진동 테이블 (software-controlled oscillating table) 으로 설계되었습니다. DSM16B-5L-III는 다양한 라운드, 스퀘어 및 플랫 표면의 정확한 분쇄에도 사용할 수 있습니다. 또한 수중 냉각 자산이 통합 된 종합 위생 도구 (Comprehensive Hygiene Tool) 가 장착되어 있어, 막히거나 오염 될 위험없이 원하는 표면 마무리를 달성할 수 있습니다. 이러한 모든 기능을 통해 SPEEDFAM DSM 16B-5L-III는 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 프로세스에 적합한 도구입니다. 유연성 있는 모델은 대용량 생산과 단일 가공소재 작업에 적합합니다. 이 장비는 다양한 제조 요구 사항을 충족하는 강력하고 경제적인 솔루션을 제공합니다.
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