판매용 중고 SPEEDFAM Auriga #9114132

SPEEDFAM Auriga는 다양한 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 기계입니다. 이 최첨단 장비는 첨단 모션 제어 기술, 강력한 구동 스핀들, 동적 비접촉 공기 베어링 (dynamic non-contact air bearing) 용량으로 반도체 웨이퍼의 정확하고 효율적인 평면 화 및 결함 제거를 제공합니다. Auriga 플랫폼은 증분 이동을위한 마이크로 스텝 제어, 강력한 스핀들 모터, 폐쇄 루프 속도 제어, 자동 도구 교환 등 다양한 기능과 기능을 갖추고 있습니다. 이것은 일관되고 높은 정밀 웨이퍼 연삭, 랩핑 및 연마를 보장합니다. 또한, 기계는 빠르고 쉬운 전환 프로세스로 인해 다양한 유형의 기판 (기판) 으로 작업 할 수 있습니다. SPEEDFAM Auriga는 생산 주기 전반에 걸쳐 용량, 처리량 및 효율성을 최적화할 수 있도록 설계되었습니다. 6 개의 스핀들을 사용하여 웨이퍼를 최적의 연삭, 랩핑 및 연마합니다. 각 스핀들 (spindle) 은 최대 2개의 축을 제어할 수 있으며, 이를 통해 분쇄력을 빠르고 쉽게 조정할 수 있습니다. 또한, 다방향 모션 기능은 Auriga 시스템의 운영 유연성을 증가시킵니다. SPEEDFAM Auriga는 스테인리스 스틸 (stainless steel), 알루미늄 (aluminum) 및 2 개의 조합을 포함하여 다양한 고급 재료로 제작되었습니다. 이 재료 구조는 수명 동안 내구성과 안정성을 보장합니다 (영문). Auriga의 최대 그라인딩 범위는 2895 x 2357mm (2895 x 2357mm) 이며, 가장 까다로운 어플리케이션을 위해 다양한 옵션과 지원을 제공합니다. SPEEDFAM Auriga 장치는 고급 동작 제어 기술을 사용하여 다중 축 좌표 이동에 대한 동적 응답을 허용합니다. 기계의 정밀 작동과 그 견고한 구조 (Struction Construction) 는 기존의 연삭 시스템보다 더 신뢰할 수있는 것으로 입증되었습니다. 또한, 다양한 피드, 양식 및 에지 보정 알고리즘은 연삭 기능의 다양한 사용자를 제공합니다. Auriga는 랩핑, 그라인딩, 연마 등 여러 가지 그라인딩 기술을 사용하여 웨이퍼를 갈아 넣을 수도 있습니다. 첨단 기술로 다양한 반도체 웨이퍼 그라인딩 (grinding), 랩핑 (lapping), 연마 (polishing) 요구 사항을 충족하는 효율적이고 안전한 옵션을 제공합니다. 스핀들 (spindles) 과 비접촉 공기 베어링 (non-contact air bearing) 이 닫힌 루프 제어 환경에서 작동함에 따라, 기계는 웨이퍼의 그레인 및 랩핑에서 향상된 정확성과 정밀도를 제공합니다. 간단히 말해, SPEEDFAM Auriga는 다양한 반도체 웨이퍼에 고급 그라인딩, 랩핑 및 연마 기능을 제공합니다. 견고한 구조, 정밀한 모션 컨트롤, 강력한 모터, 비접촉식 에어베어링 (Air Bearing) 은 최고 품질의 결과를 달성하기 위해 안정적이고 효율적인 기계입니다.