판매용 중고 SPEEDFAM Auriga EC #293808015
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SPEEDFAM Auriga EC는 다양한 자동 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비로, 일관성 있고 고품질 웨이퍼를 생산합니다. 볼륨 생산 환경에서 다양한 유형의 웨이퍼 (wafer) 를 정확하고 반복적으로 마무리 할 수 있도록 설계되었습니다. 단일 패스 (Single Pass) 기술과 통합 미디어 재활용 시스템 (Integrated Media Recycling System) 을 통해 최소한의 재료 사용량으로 처리량을 극대화할 수 있습니다. Auriga EC에는 4 개의 독립적 인 처리 스테이션이 있습니다. 하나는 거친 연삭, 하나는 랩핑, 다른 하나는 연마. 대용량 생산을 위한 비용 효율적인 솔루션인 SPEEDFAM Auriga EC 는 한 번에 최대 8 개의 웨이퍼를 처리합니다. 높은 수율, 처리량 증가 및 웨이퍼 상태 유지가 가능합니다. Auriga EC는 직관적 인 터치 스크린 제어 장치를 특징으로하며, 최대 180 개의 레시피를 저장하고 속도, 온도, 압력을 포함한 프로세스 조건에 대한 실시간 피드백을 제공합니다. 이 프로세스 제어 모니터 시스템 (process control monitor machine) 을 사용하면 전체 프로세스를 면밀히 모니터링하고 유지 보수 다운타임을 줄일 수 있습니다. SPEEDFAM Auriga EC에는 지속적인 미디어 재활용 도구가 있으며, 이는 최대 수율과 낮은 재료 비용을 보장합니다. 또한 프로그래밍 가능한 슬러리 주입 (slurry injection) 및 유속 설정 (flow rate settings) 을 사용하여 프로세서가 처리 중 슬러리의 농도를 면밀히 조절 할 수 있습니다. 다양한 슬러리 유형 (slurry type) 과 농도 (concentration) 와 함께 사용하면 최적의 결과를 얻을 수 있습니다. 또한, Auriga EC에는 정밀 서보 드라이브가 장착되어 있어 처리 중 웨이퍼를 정확하게 포지셔닝합니다. 부드러운 동작은 균일 한 재료 제거 및 웨이퍼 손상을 방지합니다. 내장 된 진공 자산은 공기 입자를 제거하여 운영자에게 더 안전한 환경입니다. 궁극적으로 SPEEDFAM Auriga EC는 대용량 생산 환경을 위해 안정적이고 반복 가능한 고품질 웨이퍼 마무리를 제공합니다. 직관적 인 터치 스크린 컨트롤 모델, 연속 미디어 재활용 장비 및 정밀 서보 드라이브로 인해 모든 작업에 완벽한 웨이퍼 그라인딩, 랩핑, 연마 시스템이 됩니다.
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