판매용 중고 SPEEDFAM Auriga EC #141545

SPEEDFAM Auriga EC는 반도체 웨이퍼의 정확한 연삭 및 연마를 위해 설계된 완전 자동화 된 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 초정밀 랩핑 및 연마 품질로 정확한 표면 평면도 및 측면 정확도를 유지하도록 설계되었습니다. 오리가 EC (Auriga EC) 는 압전 구동 시스템을 사용하여 공정 시간을 줄이고, 수확량을 향상시키고, 표면 평탄도 정확도를 향상시킬 수있는 고급 기계 도구입니다. SPEEDFAM 오리가 EC (Auriga EC) 의 주요 구성 요소에는 반도체 웨이퍼를 연삭, 랩핑 및 연마하는 상단 헤드 어셈블리, 큰 연삭/평면 테이블 및 동시에 웨이퍼를 연삭시키는 하부 회전 테이블이 포함됩니다. Auriga EC 는 사용자의 프로세스 및 애플리케이션 요구 사항에 맞춘 다양한 헤드 (head) 및 툴 (tools) 을 갖추고 있습니다. 여기에는 다이아몬드 행성 랩핑 헤드, 웨이퍼 그라인더, 선형 랩핑 머신, 행성 평면 연마 헤드 및 Single Wafer Polisher가 포함됩니다. SPEEDFAM Auriga EC는 정확한 반도체 평판, 표면 거칠기 및 측면 정확도를 달성하도록 설계되었습니다. Auriga EC는 특허를받은 CCD 레이저 라인 곡률 측정 장치 (curvature measurement unit) 로 제작되어 높은 정확도로 표면 평탄도를 정확하게 측정 할 수 있습니다. 또한, 고출력 진동 모터 덕분에 SPEEDFAM Auriga EC는 0.4nm 이내에 평평한 수준을 달성 할 수 있습니다. 오리가 EC (Auriga EC) 는 또한 가공하는 동안 최적의 대기 품질을 청소하고 유지하고 화학 오염물을 완전히 제거하는 내부 공기 여과 기계를 갖추고 있습니다. SPEEDFAM Auriga EC에는 기계에 웨이퍼를 정확하고 정확하게 배치하는 내장 자동 웨이퍼 처킹 도구도 포함되어 있습니다. 또한 Auriga EC는 광범위한 데이터 로깅 기능을 제공하여 사용자가 웨이퍼의 연삭, 랩, 연마 과정에서 생성된 데이터를 저장, 분석, 검토할 수 있습니다. 마지막으로 SPEEDFAM Auriga EC는 반도체 웨이퍼 연삭 및 연마에 비용 효율적이고 효율적인 솔루션입니다. 사용자 정의가 가능하고 사용자 친화적인 자산으로, 고급 기능과 기능을 갖추고 있습니다. Auriga EC는 반도체 웨이퍼 생산에 필수적인 정확한 편평성, 표면 균일성 및 측면 정확도를 보장합니다.