판매용 중고 SPEEDFAM 9B #9388411

SPEEDFAM 9B는 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 용으로 설계된 다목적 장비입니다. 대규모 웨이퍼 처리에 적합한 여러 연삭, 랩핑, 연마 프로세스를 효율적으로 수행할 수 있습니다. 고정판, 레일 시스템 및 회전 테이블로 제작 된 SPEEDFAM 9 B (영문) 에는 수동 척이 장착되어 있으며, 최적의 먼지 수집을 위해 설계되었습니다. 진공 밀봉 된 스테인레스 스틸 탑 플레이트 (stainless top plate) 가있는 이분법 코팅 된 스틸 테이블 (steel table) 을 사용하여 직접 기계 유지 보수가 가능한 오픈 프레임 구성이 있습니다. 또한 최대 2500 RPM의 조절 가능한 속도를 제공하는 3 상 AC 모터 및 드라이브 장치로 구동됩니다. 9B (closed loop servo-controlled linear motor) 도 장착되어 있으며, 정확한 연삭 및 연마 작업을 보장하기 위해 제어 가능한 공정 시간과 함께 속도 해상도 5nm 및 2nm의 해상도를 제공합니다. 또한 선형 로터리 액츄에이터 (Linear Rotary Actuator) 가 장착되어 있으며, 그라인딩 압력을 제어하고 그라인딩 과정에서 플랫폼에 높은 안정성을 부여합니다. 9 B 에는 여러 가지 부가적 인 특징 이 있는데, 이를테면 진공기 에 "브러쉬 '없는 모터' 가 장착 되어 있으며, 완전 한 먼지 수집 을 위해 진공 으로 밀봉 될 수 있다. 게다가, 기계 는 처리 중 에 깨끗 한 작업 환경 을 유지 하기 위해 먼지 수집 "로봇 '을 갖추고 있으며, 사고 를 방지 하기 위해 경고 와" 인터록' 장치 를 갖춘 안전 도구 를 갖추고 있다. 그것 은 "렌즈 '와 기타 광학 부품 을 가공 하기 위한" 렌즈' 와 "반도체 '제조 산업 에 사용 하기 에 적합 한 도구 이다. 조정 가능한 속도, 고급 먼지 수집 및 정확한 제어를 통해 SPEEDFAM 9B는 최고 품질의 그라인딩, 랩핑 및 연마 작업을 제공합니다.