판매용 중고 SPEEDFAM 9B #9274778
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SPEEDFAM 9B는 최첨단 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 실리콘 웨이퍼의 대량 생산을 위해 설계되었습니다. 이 시스템은 탁월한 마무리를 제공하면서 웨이퍼당 비용을 줄여 더 큰 처리량을 제공합니다. 장치의 랩핑 구성 요소는 동시, 다중 스테이션, 6 점 접촉 랩 링을 사용합니다. 이것은 새로운 회전 조개 껍질 (clamshell) 과 결합하여 한 번에 웨이퍼 양쪽에 압력을 가합니다. 이렇게 하면 각 웨이퍼에 대해 일관된 높이와 부드러운 서피스 마무리를 보장할 수 있습니다. 기계의 연삭 구성 요소는 2 단계 프로세스입니다. 첫 번째 단계는 와퍼 표면을 최소화하도록 설계된 고속 스핀들 장착 그라인딩 휠 (spindle-mounted grinding wheel) 을 사용합니다. 이것은 웨이퍼 형태를 유지하면서 거의 완벽한 마무리를 보장합니다. 두 번째 단계는 1 패스 랩핑 및 연마 단계 (one-pass lapping and polishing step) 로 벨트 및 디스크 설정을 사용하여 웨이퍼에서 최고 품질의 마무리를 생성합니다. SPEEDFAM 9 B는 또한 운영자의 안전을 보장하기 위해 몇 가지 고급 안전 기능을 제공합니다. 예기치 않은 오류 또는 사고 발생 시 공구를 중지하는 자동 응급 정지 (Automatic Emergency Stopping) 기능이 장착되어 있습니다. 에어인테이크 흡입 에셋 (air-intake suction asset) 도 있어 먼지 입자와 연료 입자가 모델에 들어가지 못하도록 보호합니다. 9B의 통합 자동 장비는 대용량 웨이퍼 생산에 이상적입니다. 첨단 기능 및 최첨단 기술은 각 웨이퍼에 뛰어난 마무리와 균일성을 보장합니다. 또한, 설계를 통해 유지 관리 및 운영이 간편해져 효율성 및 비용 절감 효과를 높일 수 있습니다.
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