판매용 중고 SPEEDFAM 9B #9131295
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ID: 9131295
빈티지: 1987
Lapper
Specifications:
Material: Glass / Alumina oxide
Carrier diameter: 9”
(2) Motors
(2) Inverter drives
Controller
Main cylinder and sub cylinder included
Lap plates
Plate diameter: 24.5”
Cast iron lap plates
Minimum thickness: .15 mm
Maximum thickness: 25 mm
Maximum part size: 150 mm
(5) Carriers
Maximum down force: 105 kg
Down force range: 0-105 kg
Lower plate: 8-60 RPM
Sun gear: 8-21 RPM
Pressure system: Manual settings
Main motor: 5 HP, 220/440 V
Sun gear motor: 5 HP, 220 V
Air supply: 5-6 kg/cm, 3-Phase
(3) Timers
Ring gear
Sun gear
Bearings
Gear box drive
Auto thickness controller
Operations: Silica carbide / DI Water
Automatic Thickness Control (ATC)
1987 vintage.
SPEEDFAM 9B는 정밀 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 공차 (tolerance) 와 표면 마무리 (surface finish) 가 필요한 고급 반도체 처리 응용 분야에 사용하도록 설계되었습니다. 이 시스템은 연삭 단계, 연마 단계, 랩핑 단계, 검사 단계로 구성됩니다. 연삭 단계 는 연마 재료 로 만든 연삭 "휠 '을 사용 하여" 웨이퍼' 의 표면 을 형성 한다. 연마 단계 는 연마 "패드 '와 화학 물질 을 이용 하여" 웨이퍼' 의 표면 을 매끄럽게 한다. "랩핑 '단계 는 연마 단계 에서 남아 있는 모든 물질 을 제거 하여" 웨이퍼' 의 표면 을 더 매끄럽게 하고 다듬는 데 사용 된다. 마지막으로, 검사 단계를 통해 웨이퍼가 결함 또는 불규칙성을 검사할 수 있습니다. SPEEDFAM 9 B 는 제어 장치 (Control Unit) 를 쉽게 사용할 수 있어 사용자가 사양에 맞게 연삭, 연마 및 랩 단계를 프로그래밍할 수 있습니다. 따라서 사용자는 프로세스를 사용자 정의하여 정확한 요구 사항을 충족할 수 있습니다. 이 기계는 비상 정지 (Emergency Stop) 및 진동 방지 도구 (Anti-Vibration Tool) 와 같은 안전 기능을 갖추고 운영자 손상 위험을 줄입니다. 자산은 또한 다른 장비 (예: 미디어 연삭 및 소모품 연마) 와의 호환성을 위해 설계되었습니다. 9B는 고정밀 그라인딩, 랩핑 및 연마를위한 강력한 솔루션입니다. 견고한 구조는 안정적인 운영 및 긴 서비스 수명을 보장합니다. 이 모델은 또한 효율성이 높아 처리량을 높이고 처리 시간을 단축할 수 있습니다. 장비는 최대 8 인치 직경의 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 또한, 9 B 는 인터페이스를 쉽게 사용할 수 있으며, 다양한 소프트웨어 및 제어 시스템과 호환됩니다. 이를 통해 사용자는 자동화 (automation) 및 프로세스 제어의 최신 향상을 활용할 수 있습니다. 전반적으로 SPEEDFAM 9B는 안정적이고, 효율적이며, 사용하기 쉬운 시스템으로, 고정밀 그라인딩, 랩핑 및 연마 결과를 달성합니다. 다른 프로세스 자동화 및 제어 기술과 함께, SPEEDFAM 9 B는 웨이퍼 처리 응용 프로그램에 이상적인 선택입니다.
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