판매용 중고 SPEEDFAM 9B-5SSG-IV #9105516

SPEEDFAM 9B-5SSG-IV
ID: 9105516
System.
SPEEDFAM 9B-5SSG-IV는 단면, 양면 및 얇은 가장자리를 가공하기위한 다용도 그라인딩, 랩핑 및 연마 기계입니다. 이 장비는 실리콘 (silicon) 과 가아스 (GaAs) 와 같은 다양한 재료의 석재 및 반도체 응용을 다루기 위해 특별히 설계되었습니다. 고속 작동은 mm-wave 웨이퍼, 다이 레벨 (die-level) 및 칩 레벨 기판 랩핑 (substrate lapping) 을 포함한 다양한 재료에 유용합니다. 이 시스템은 두 개의 수평 끝 극을 사용하여 abrading, lapping 또는 polishing을 사용합니다. 이러한 수평 끝극을 조정할 수 있으며, 회전 축의 기울기 (tilt) 와 지름 (diameter) 을 조정하도록 설정할 수 있습니다. "그라인딩 '돌 은 수평 끝" 폴' 위 에 설치 되고 기판 에 맞추어 원하는 "그라인드스톤 '모양 을 제공 한다. 그라인딩 스톤은 스테핑 모터로 제어되는 고정 축을 중심으로 회전합니다. 조정 가능한 그라인딩 스톤 (grinding stone) 모양은 원하는 그라인드스톤 모양뿐만 아니라 원하는 그라인딩 속도를 수용하도록 설계되었습니다. 9B-5SSG-IV는 연삭 및 랩 프로시저의 프로그래밍 된 작동을 특징으로합니다. 연삭 은 "펄스 '폭 변조 로" 프로그램' 되는데, 이것 은 기계 의 직경 과 각도 가 동기화 된 방식 으로 조정 된다. 또한 "그라인딩 '은 원하는 효과 를 얻기 위해 패스 수 를 조절 하기 위해" 프로그램' 할 수 있다. 랩핑은 기판의 단면 및 양면 랩핑을 모두 제공하도록 설계되었습니다. SPEEDFAM 9B-5SSG-IV에서 제공되는 그라인딩 스톤은 응용 분야에 따라 70 nm에서 20 nm 사이이며, 더 오래 지속되고 훌륭한 표면 마무리를 제공하도록 설계되었습니다. "프로그램 '된 동작 과 균일 한" 랩핑' 과정 은 연삭 하는 돌 과 결합 하여 일관성 있고 균일 한 마무리 를 만들어 낸다. 9B-5SSG-IV 장치는 단순하고 복잡한 랩 작업에 모두 사용할 수 있습니다. 이해하기 쉬운 제어판 (Control Panel) 을 사용하면 몇 단계로 각 작업을 설정하고 프로그래밍할 수 있습니다. 생산성 향상을 위해, 이 기계는 또한 여러 랩핑 (lapping) 작업을 최대한 활용하기 위해 완전히 자동화될 수 있습니다. SPEEDFAM 9B-5SSG-IV는 반도체 제작에서 웨이퍼 그라인딩, 랩핑, 연마 작업을 위한 비용 효율적이고 안정적인 솔루션을 제공합니다. 그것의 다양성은 기계적으로 조절 가능한 수평 엔드 폴 머신, 조절 가능한 그라인딩 스톤 형태, 고속 (고속) 과 같은 고급 기능에서 비롯됩니다. 이 시스템은 운영/유지 보수 (Operation/Maintenance) 에 대한 탁월한 고객 서비스 지원을 통해 지원되며, 최적의 제품 출력을 보장하는 데 도움이 될 수 있습니다.
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