판매용 중고 SPEEDFAM 9B-5P #9352976

SPEEDFAM 9B-5P는 실리콘, SiGe, III-V 및 단일 또는 다중 계층 필름과 같은 다양한 기판을 기존의 방법으로 달성 할 수없는 다양한 평온, 병렬 처리 및 표면 마무리 사양으로 마무리 할 수있는 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 이 시스템은 웨이퍼 표본을 잡기위한 2 개의 플레이트와 상단 플래튼으로 구성된 캐리어 플래튼 (carrier platen) 을 기반으로합니다. 3 개의 조절기 밸브에 공급 된 압축 공기 (Compressed Air) 는 웨이퍼 표본의 이송 속도와 드레싱 속도를 제어합니다. 다이아몬드 휠 (diamond wheel) 은 웨이퍼 표본을 갈기 위해 사용되며 크로스 피드 메커니즘은 그라인딩에 필요한 압력을 공급합니다. 스타일러스 유형 선택기 메커니즘은 처리 중인 웨이퍼 기판에 따라 그라인딩 (grinding), 랩핑 (lapping) 및 광택 (polishing) 매개변수를 선택하는 데 사용됩니다. 이 장치에는 일정한 압력 랩핑 머신 (lapping machine) 과 물 냉각 연마 도구 (water cooled polishing tool) 가 장착되어 웨이퍼 표면에서 일관된 마무리를 보장합니다. 에셋은 또한 위치 감지 유형 트래버스 메커니즘을 특징으로하여 가공소재의 수정 및 조정을 허용합니다. 9B-5P에는 연삭 및 연마 과정을 지속적으로 모니터링 할 수있는 닫힌 루프 (closed-loop) 옵티컬 피드백 모델도 장착되어 있습니다. 이것은 웨이퍼 표본의 각 배치에 대해 반복 가능한 결과와 일관된 마무리를 보장합니다. SPEEDFAM 9B-5P (SPEEDFAM 9B-5P) 는 반도체 (semi-conductor) 및 광학 장치 (optical device) 제조에 적합하며, 구성 요소에 대한 높은 수준의 평면도 및 표면 마감이 필요하며, 본격적인 연마 장비에 투자 할 자원이 없을 수 있습니다.