판매용 중고 SPEEDFAM 9B-5L #9276628

SPEEDFAM 9B-5L은 고도로 고급 자동 웨이퍼 연삭, 랩핑 및 연마 장비입니다. 이 시스템은 동일하지 않은 반복성으로 엄청나게 정확한 웨이퍼 표면을 생산하도록 설계되었습니다. SPEEDFAM 9B5L은 고급 실리콘 집적 회로 및 MEMS 장치에 사용되는 정밀 웨이퍼 생산에 특히 적합합니다. 9 B-5 L은 연삭 및 연마 작업에 12 축 로봇 그라인딩 개트리를 사용합니다. 생산 주기에 따라, 오퍼레이터는 다이아몬드 함정 직경 최대 320mm, 폴리 이미 드 결합 최대 220mm 등 다양한 그라인딩 휠 중에서 선택할 수 있습니다. 로봇 그라인딩 간트리 (Robotic Grinding Gantry) 는 미세한 지형을 제거하는 것에서부터 더 큰 복잡한 휴회 및 프로파일 링에 이르기까지 다양한 연삭 및 연마 작업을 수행 할 수 있습니다. 9B5L에는 5 축 랩핑/폴리싱 스테이션도 장착되어 있습니다. 이 스테이션은 웨이퍼를 더 정확한 정밀 표준으로 확장하는 기능을 제공합니다. 이는 초정밀 웨이퍼 생산에 필수적입니다. 랩핑/폴리싱 동작은 선형 인코더가있는 모터 구동 크로스 멤버에 의해 제공되며, 여러 백분의 1 미크론 이상의 반복 성을 갖는 0.01 미크론의 동작 해상도를 달성한다. 9B-5L은 25.4-203mm 사이의 웨이퍼를 허용하고 테이프, 테이프리스 및 맞춤형 캐리어를 수용 할 수 있습니다. 전체 유닛은 매우 견고하도록 설계되었으며, 로봇 간 트리 (gantry) 는 25kg 이상을 들어 올릴 수 있습니다. 또한 SPEEDFAM 9 B-5 L 은 유연한 레시피 관리 기능을 제공하여 작업 전반에 걸쳐 속도, 압력, 방향 등의 매개변수를 손쉽게 조정할 수 있습니다. 전반적으로 9 B 5 L은 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 작업을 자동화하는 매우 강력한 기계입니다. 다양한 적응식 그라인딩 휠 (grinding wheel) 과 정확한 랩핑/연마 (lapping/polishing) 기능을 갖춘 이 도구는 고급 웨이퍼에 매우 정밀한 결과를 얻을 수 있습니다. 자산의 견고성과 유연한 레시피 관리 (recipe management) 는 모든 생산 작업에 적합합니다.