판매용 중고 SPEEDFAM 9B-5L #293641135

SPEEDFAM 9B-5L은 반도체 생산 및 광학 제조에 널리 사용되는 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 이 시스템은 실리콘 (silicon), 사파이어 기판 (sapphire 기판), 금속 (metal) 과 같은 다양한 재료에 우수한 고정밀 평평한 표면을 만들도록 설계되었습니다. 이 장치에는 로터리 그라인딩 메커니즘, 고정 그라인딩 메커니즘, 랩핑 및 연마 메커니즘을 포함하는 3 스테이션 구성이 있습니다. "로터리 그라인딩 '단계 는 주" 스핀들' 에 장착 되는 "다이아몬드 '연삭" 휠' 을 이용 하여 연삭 의 압력 과 속도 를 정확 히 조절 할 수 있다. 고정 분쇄기 (Stationary Grinding Stage) 는 다양한 힘에서 마찰이없는 작동을 가능하게하여 고정밀 머시닝을 보장하는 독특한 공기 베어링 머신을 특징으로합니다. SPEEDFAM 9B5L은 제어 된 액체 압력 분포 도구 하에서 다이아몬드 또는 알루미나 연마제를 사용하는 완전 자동 랩핑 및 연마 단계를 갖습니다. 이를 통해 표면 랩핑 및 광택의 균일성과 깊이를 정확하게 제어 할 수 있습니다. 이 자산에는 또한 강력한 질소 스크러버 (scrubber) 와 배기 필터를 사용하여 공기에서 입자와 가스를 제거하여 깨끗하고 오염 물질이없는 작업 조건을 보장하는 엄격한 가스 정화 (gas purification) 모델이 있습니다. 9 B-5 L 장비에는 연삭 및 연마 단계를 포함하여 시스템 내 모든 움직임을 규제하는 정교한 모션 컨트롤 패키지도 포함되어 있습니다. 이 모션 제어 패키지는 산업용 PC 기반 CNC 컨트롤러, 인코더 기반 폐쇄 루프 제어 장치 및 고급 서보 모터 드라이브 머신으로 구성됩니다. 전반적으로, 9B5L 도구는 다양한 재료에서 우월한 평평한 표면을 만들도록 설계된 매우 정교한, 자동화 된 자산입니다. 이 제품은 정교한 모션 컨트롤 패키지 (motion-control package) 를 갖추고 있어 모델을 정확하게 제어할 수 있으며, 마찰이없는 작동을위한 강력한 공기를 장착할 수 있습니다. 이 시스템에는 통일 된 배기 장치 (unified exhaust unit) 와 깨끗하고 오염 된 작업 조건을 보장하는 질소 스크러버 (scrubber) 가 있습니다.