판매용 중고 SPEEDFAM 9B-5L #293586267

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ID: 293586267
빈티지: 2014
Double sided lapping machine 2014 vintage.
SPEEDFAM 9B-5L은 반도체 산업의 요구 사항을 충족하도록 설계된 최첨단 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 다듬기 장비입니다. 이 시스템은 빠른 속도와 극도의 정밀도로 파퍼를 연삭, 랩핑, 연마 할 수 있습니다. 이 장치에는 빠른 방향 변화와 웨이퍼의 정확한 위치 지정을위한 9 축 동작 제어 (9 축) 와 랩핑 및 연마 공정의 정확한 제어를 위한 통합 CNC 제어 (integrated CNC control) 가 포함되어 있습니다. SPEEDFAM 9B5L (SPEEDFAM 9B5L) 은 또한 다양한 처리 기술을 가능하게하는 정밀 엔지니어링 범위의 랩핑 및 연마 플래튼 부착 장치를 갖추고 있습니다. 제어 머신 (Control Machine) 은 플래텐의 압력, 속도, 각도 등 원하는 처리 매개변수를 설정할 때 사용자에게 완전한 유연성을 제공합니다. 9 B-5 L은 광범위한 웨이퍼 처리 응용 프로그램에 적합합니다. 이 도구는 최대 크기가 200mm/8 "인 단면 및 다면 웨이퍼를 모두 연삭 할 수 있습니다. "플래튼 '부착 장치 는" 랩핑' 과 연마 에 모두 활용 될 수 있으며, 필요 한 형태 의 표면 마무리 에 여러 가지 연마 머리 를 사용 한다. 에셋은 압력, 속도, 각도를 사용자 정의하는 기능으로 인해 불규칙한 모양 또는 유리 세라믹 복합 웨이퍼로 웨이퍼를 처리하는 데 특히 적합합니다. 9 B 5 L에는 운영자의 안전을 보장하기 위해 고급 보호 기능이 장착되어 있습니다. 이 모델에는 사고 (Interlock) 가 장착되어 있어 사고 (Accidental Operation) 또는 장비에 대한 액세스가 차단됩니다. 이 시스템은 또한 "레이저 스캐너 (Laser Scanner) '를 갖추고 있는데, 이 스캐너 (Scanner) 는 장치에 가까운 외부 개체의 동작을 식별하고 중지하고 기계 또는 웨이퍼의 손상을 방지합니다. 또한, 기계는 열 안전 장치 (thermal safety device) 덕분에 초과 온도로부터 보호되며, 잠재적 오염을 최소화하기 위해 보호 인클로저가 제공됩니다. SPEEDFAM 9 B 5 L은 반도체 웨이퍼의 일괄 처리 및 인라인 처리에 모두 사용할 수있는 다용도 및 고성능 도구입니다. 고급 모션 컨트롤, 광범위한 랩핑 (lapping) 및 연마 장치 (polishing unit) 및 고급 안전 기능을 갖춘 이 자산은 모든 반도체 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 응용 분야에 이상적인 선택입니다.
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