판매용 중고 SPEEDFAM 9B-5L-T #9398252
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ID: 9398252
Double sided lapping machine
Diameter lapping plates, 25"
4-Way drive motion:
Upper plate
Lower plate
Carrier sun driver gear
Carrier ring
Driver gear all in rotation
Maximum clearance upper and lower plates, 18"
Thickness of abrasive machining plates, 1.2"
Motor-driven carrier sun gear reversing system
Automatic thickness control
Pressure system III
Variable speed control with slow start and stop system
Precision lifting / Pressure control air cylinder with proximity sensor
Geared carriers for durability
Nickel plate ring and sun gears
Steel upper plate drive
Stainless steel exposed hardware and table edging
Epoxy-coated drain system
Aluminum slurry ring
Inching
Hour meter with reset option
Digital readout timers
Automatic slurry distribution
Analog tachometer
2-Hand safety control
Paint: SPEEDFAM White
Lower abrasive machining plate speed: 6-60 RPM
Upper abrasive machining plate speed: 2-20 RPM
Workpiece carrier speed: 3-21 RPM
(5) Workpiece carriers
Carries diameter: 7-¾"
Main drive motor: 3 HP
Sun gear carrier driver motor: ½ HP
Control circuit power supply: 110 V
Power supply: 230 V, 3 Phase, 60 Hz.
SPEEDFAM 9B-5L-T는 반도체, 광학 및 패키지 기판 처리의 요구를 충족시키기 위해 특별히 설계된 다기능 연삭, 랩핑 및 연마 장비입니다. 이 시스템은 수직 스핀들의 9 인치 디스크 그라인딩 휠, 수평 스핀들의 5 인치 랩핑 휠 및 5 인치 가변 속도 턴테이블로 구성됩니다. 이 세 가지 컴포넌트는 횡단면 그라인딩, 엔드 뷰 그라인딩, 백 랩핑, 사이드 랩핑, 연마 등 다양한 작업을 수행 할 수 있습니다. 9 인치 디스크 그라인딩 휠은 웨이퍼를 얇게는 3mm, 두께는 10mm로 갈도록 설계되었습니다. 5 인치 랩핑 휠은 0.4mm에서 1mm 사이의 웨이퍼를 수용 할 수 있으며, 최대 크기는 최대 150mm입니다. 턴테이블은 정적 보유력에 그리스 윤활유 공압 테이블 (grease lubricated pneumatic table) 을 사용하여 우수한 연삭 및 광택 결과를 허용합니다. 9B-5L-T 는 스핀들 속도, 테이블 속도, 이송 속도 등을 모니터링하고 조정하는, 사용자에게 친숙한 프로그래밍 가능한 컨트롤러에 의해 제어됩니다. 이렇게 하면, 사용자가 원하는 매개변수를 정확하게 처리하여 응용 프로그램의 원하는 결과를 얻을 수 있습니다. 이 장치는 먼지와 파편에 대한 보호 (protection) 를 제공하기 위해 캐비닛으로 둘러싸여있으며, 고압 냉각수 (coolant) 는 연삭 바퀴를 칩과 버로 유지하기 위해 사용됩니다. 사용 된 가변 속도 모터 (variable speed motor) 및 스핀들 (spindles) 은 정확성과 정밀도를 보장하기 위해 최대 속도 20,000 rpm을 생성 할 수 있습니다. 이 기계는 고품질 스테인레스 스틸 프레임 (stainless steel frame) 과 알루미늄 합금 (aluminum alloy) 부품으로 제작되었으며 사용자 안전을위한 그라인딩 가드 및 반자성 장갑이 포함되어 있습니다. 또한 다양한 입력/출력 커넥터와 중앙 제어판 (LED 표시등 포함) 을 통해 쉽게 공구를 모니터링할 수 있습니다. SPEEDFAM 9B-5L-T는 실리콘, 세라믹 및 금속과 같은 다양한 웨이퍼 및 기판을 수용하도록 설계되었습니다. 또한 특정 응용 프로그램 요구에 대한 선택적 액세서리와 함께 사용할 수 있습니다. 이 자산은 우수한 표면 마무리를 달성하기 위해 빠르고 효율적인 그라인딩, 랩핑, 연마용으로 설계되었습니다.
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