판매용 중고 SPEEDFAM 9B-5L-S #9043712

SPEEDFAM 9B-5L-S는 다목적 자동 정밀 웨이퍼 연삭, 랩핑 및 연마 장비입니다. 이 시스템은 dicing, backgrinding, CMP 및 최대 150mm의 웨이퍼 연소를 포함한 응용 프로그램을 위해 설계되었습니다. 서브 미크론 정확도를 달성 할 수있는 고정밀 장치입니다. 기계는 920mm x 600mm 랩핑 플레이트와 5 개의 600mm x 200mm 랩핑 마운팅 스테이션으로 구성됩니다. 각 랩핑 스테이션 (lapping station) 에는 랩핑 표면 동작을 제어하는 서보 모터 (servo motor) 와 인코더 (encoder) 가 장착되어 있어 랩핑 속도와 동작 방향을 정확하게 제어할 수 있습니다. "랩핑 '" 패드' 는 입자 오염 을 최소화 하고 먼지 수집 을 효율적 으로 허용 하는 방법 으로 위치 해 있다. 9B-5L-S의 그라인딩 스테이션 (grinding station) 에는 최대 20,000 RPM의 속도에 도달 할 수있는 높은 토크, 저속 모터가 장착되어 있습니다. SPEEDFAM 9B-5L-S 는 건조 (dry) 및 습식 (wet) 그라인딩을 모두 수행할 수 있으므로 다양한 어플리케이션에 적합합니다. 공구의 랩핑 단계에는 멀티 스텝 프로그래밍 가능한 사이클 컨트롤이 장착되어 있습니다. 따라서 사용자는 랩핑 (lapping) 프로세스를 애플리케이션의 요구 사항에 맞게 구성할 수 있습니다. 또한 랩핑 프로세스가 향후 감사를 위해 반복 및 추적 가능하도록 보장합니다. 또한, "랩핑 '판 의 마모 를 자동적 으로 보상 하는" 보정' 주기 를 통합 하는 옵션 이 있다. 9B-5L-S 의 연마 단계 (polishing stage) 에는 로드 셀, 서보 모터 및 프로세스를 정확하게 제어하는 인코더가 장착되어 있습니다. 사용자가 다양한 요구 사항에 맞게 압력 (pressure), 회전 속도 (rotation speed) 및 속도 경사를 조정할 수 있는 프로그래밍 가능한 매개변수가 있습니다. SPEEDFAM 9B-5L-S는 신뢰할 수 있고 강력한 자산으로, 뛰어난 결과를 낼 수 있습니다. 연삭, 랩핑, 연마 과정을 정확하게 제어하여 웨이퍼의 균일 한 마무리를 보장합니다. 이 제품은 정확한 웨이퍼 (wafer) 처리가 필요한 애플리케이션에 적합하며, 품질 관리 (quality control) 에 대한 높은 표준이 필요한 제조 작업에 적합합니다.