판매용 중고 SPEEDFAM 9B-5L-IV #9224517

SPEEDFAM 9B-5L-IV는 SPEEDFAM Corporation에서 제조 한 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 이 시스템은 다양한 표면 (surface) 기능을 동시에 사용하여 완벽하게 작동하는 웨이퍼를 처리하도록 설계되었습니다. 고립 된 진공 환경에 5 개의 작업 데크가 있으며, 이를 통해 반복 가능하고 신뢰할 수있는 일상적인 연삭, 랩핑 및 연마 작업이 가능합니다. 9B-5L-IV 장치의 프로세스는 기판 재료 처리 및 생산의 높은 요구를 충족하도록 설계되었습니다. 고정밀 5 축 머신은 공차가 단단한 부품을 생산할 수 있으며, 습하고 건조한 처리 기능을 갖추고 있습니다. 이 기계는 최소 결함으로 뛰어난 표면 마무리를 제공 할 수 있습니다. 이 도구 는 특수 "다이아몬드 '슬러리 와 다른 여러 가지 연마 부품 들 과 함께" 다이아몬드' 연마 바퀴 를 사용 하여 엄밀 히 관용 한 부분 을 생산 한다. 독특한 그라인딩, 랩핑 및 연마 기능을 제공하는 2 개의 지오메트리 (이중 및 단일 모달) 가 있습니다. 이중 (dual) 모달 형상은 대용량 부품의 배치 처리를 용이하게 하는 반면, 단일 (single) 모달은 보다 세부적인 처리 요구에 적합합니다. 각 다이아몬드 휠은 우수한 스테인리스 스틸 백킹 플레이트 (stainless steel backing plate) 에 장착되어 있으며 최적의 반복 정확성을 위해 미세 조정됩니다. 정밀 그라인딩 에셋은 웨이퍼 표면 마무리 모니터, 고속 로딩 암, PLC 구동 로딩 및 언로딩 모델의 조합을 사용합니다. SPEEDFAM 9B-5L-IV는 다양한 크기의 웨이퍼를 처리하여 약간의 변형에 대한 유연성을 제공합니다. 웨이퍼 크기는 프로세스 관련 손상을 최소화하기 위해 지속적으로 모니터링됩니다. 또한, 9B-5L-IV에는 프로세스 시간 변동성을 줄여주는 맞춤형 압력 모니터링 및 제어 시스템이 장착되어 있습니다. 이 장비에는 정확한 부품 포지셔닝 및 정렬을 위한 센서가 있는 저속 기울기 (low-speed tilting) 및 트리밍 스핀들 (triming spindle) 모터가 포함되어 있습니다. Diamond Abrasive Wheel Dresser는 필요에 따라 다이아몬드 및 다이아몬드 슬러리 교체를 쉽게 할 수 있습니다. SPEEDFAM 9B-5L-IV 시스템은 강력한 Siemens Automation Controller를 통해 데이터 전송, 제어 및 모니터링을 원활하게 수행할 수 있습니다. 마지막으로, 이 장치에는 긴급 차단 기능을 포함한 다양한 안전 기능이 있습니다.