판매용 중고 SPEEDFAM 9B-5L-IV #9191615

SPEEDFAM 9B-5L-IV
ID: 9191615
빈티지: 1996
Single side wafer lapping system 1996 vintage.
SPEEDFAM 9B-5L-IV는 진정한 혁신적인 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 이 직관적 인 시스템은 질화 갈륨 (GaN) 반도체에서 실리콘 온인슐레이터 (SOI) 장치에 이르기까지 오늘날의 가장 중요한 재료를 위해 특별히 설계되었습니다. 2 개의 공정 헤드, 큰 직경 휠 및 폴리 쿨 휠을 지원할 수있는 6 축 산업 로봇이 특징입니다. 또한 절단 헤드와 부드러운 벨트 그라인더가 있습니다. 커팅 헤드 (Cutting Head) 와 소프트 벨트 그라인더 (Soft Belt Grinder) 는 속도 조정 및 디지털 위치 제어를 통해 작은 메쉬의 정확한 컷과 그라인딩을 허용합니다. 산업용 로봇 무기는 높은 정밀도 및 반복성을 만들어 물질적 손실 및 생산 거부를 크게 줄입니다. 또한 낮은 결함률과 높은 수율을 보장합니다. 9B-5L-IV에는 그라인딩과 랩핑 (lapping) 을 통해 한 단계에서 큰 기판을 처리하는 직경이 큰 휠이 장착되어 있습니다. 이 "휠 '은 진공" 척' 을 갖추고 있으며 조정 이 가능 하여 여러 종류 와 크기 의 기판 을 가공 할 수 있다. 폴리 쿨 휠 (polycool wheel) 은 대형 기판을 랩핑하고 연마하기위한 독특하고 전문화 된 휠입니다. 이 바퀴에는 물 기반 냉각재로 채워진 냉각실이 있습니다. 냉각수 는 특수 "펌프 '에 의하여 바퀴 위 로 순환 하여, 지속적 이고 지속적 인 냉각 을 한다. 이 냉각은 열 그라디언트 및 열 관련 결함을 줄여 뛰어난 표면 마무리를 가능하게합니다. SPEEDFAM 9B-5L-IV는 또한 강력한 전기 드라이브를 갖추고 있어 전력 소비를 줄이고 평생 안정성을 향상시킵니다. 또한, 고급 진단, 경보 장치 및 자동 안전 차단 장치 (Automatic Safety Shutoff Machine) 는 사용자 친화적이고 안전하며 신뢰할 수 있는 도구입니다. 9B-5L-IV는 첨단 기술, 비용 효율적이고 신뢰할 수있는 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 자산입니다. 그 독특 한 특징 과 능력 은 오늘날 의 도전적 인 "기판 '을 가공 하는 데 이상적 인 선택 이 된다. 최고의 연마 정밀도가 필요한 재료를위한 혁신적인 솔루션입니다.
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