판매용 중고 SPEEDFAM 9B-5L-IV #9188364

ID: 9188364
빈티지: 1994
Lapping machine 1994 vintage.
SPEEDFAM 9B-5L-IV는 웨이퍼 연삭, 랩핑 및 연마 장비입니다. 특히 대형 및 소형 반도체 웨이퍼의 효율적이고 정확한 머시닝을 보장하도록 설계되었습니다. 이 시스템은 자동화된 프로세스 흐름 (automated process flow) 을 통해 운영자의 개입을 줄이고 전체 유닛을 간소화할 수 있도록 설계되었습니다. 그라인딩 공정은 9B-5L-IV의 고속 다이아몬드 팁 그라인딩 휠을 사용하여 완료됩니다. 이 "휠 '은 최적 속도 로 회전 하여" 웨이퍼' 의 전체 표면 이 신속 하고 정확 하게 가공 되도록 한다. 바퀴는 또한 매우 정확하며, 기계가 얇고, 층이 넘치고, 초미세 텍스처링, 랩핑과 같은 관용 (low-toleranced) 작업을 수행 할 수 있습니다. SPEEDFAM 9B-5L-IV에는 그라인딩 휠에 장착 할 수있는 5 점 정밀 도구가 있습니다. 이 도구를 사용하면 연산자가 그라인딩하는 동안 정확하게 조정할 수 있습니다. 또한, 이 도구는 작업 요구 사항에 관계없이 최대한의 정확성을 보장하기 위해 속도 (speed), 회전 (rotation), 깊이 (depth) 등 여러 사용자 정의 가능한 설정을 제공합니다. 랩핑 작업은 5L-IV의 특수 랩핑 플레이트를 사용하여 완료됩니다. 이 판은 웨이퍼의 전체 무결성을 위태롭게하지 않고 작은 평평한 표면을 갈아내는 데 적합합니다. 판은 흠과 불규칙성이 없는 균일 하고 일관성 있는 표면을 만들 수 있습니다. 이 표면은 "균일하고 일관성 있는" 표면을 만들 수 있습니다. 프로세스의 마지막 단계는 연마 단계입니다. 9B-5L-IV는 특수 연마제를 사용하여 웨이퍼를 가장 높은 마무리로 연마합니다. 이 자산에는 운영자가 연마 과정의 진행 상황을 추적 할 수있는 실시간 모니터링 (real-time monitoring) 모델도 장착되어 있습니다. 이렇게 하면 "웨이퍼 '가 정확 하게 연마 되고 원하는 공정 결과 를 얻게 된다. 전반적으로 SPEEDFAM 9B-5L-IV는 안정적이고 효율적인 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 정확하고, 사용자 친화적이며, 사용자 정의가 쉽고, 사용이 간편합니다. 또한, 자동화된 프로세스 흐름은 수동 개입 (manual intervention) 의 필요성을 제거하여 모든 웨이퍼가 완벽하고 신속하게 가공되도록 합니다.
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