판매용 중고 SPEEDFAM 9B-5L-IV #9181275

SPEEDFAM 9B-5L-IV는 웨이퍼 연삭, 랩핑 및 연마를위한 자동 장비입니다. 가장 까다로운 어플리케이션에 가장 높은 정확성과 반복성을 제공하는 5 축 시스템입니다. 실리콘 및 기타 섬세한 물질 (다이아몬드 및 SiC) 에 대해 3 단계의 연삭, 랩핑 및 연마 수준을 제공합니다. 9B-5L-IV 장치는 반도체 웨이퍼와 함께 작동하고 까다로운 연삭 및 연마 작업을 실행할 수 있도록 설계되었습니다. 이 기계는 고급 운동학적 로그 위치 지정 도구 (KLPS) 를 사용합니다. 공구 헤드를 이동하려면 3 개의 축을 사용하고, 정확한 제어를 유지하면서 가공소재를 배치하려면 2 개의 축을 사용합니다. 이렇게 하면 원하는 형상과 웨이퍼의 정확한 마무리가 가능합니다. KLPS 제어 자산은 또한 기계가 불규칙한 모양의 웨이퍼를 추적 할 수 있도록 3D 보간 기능을 사용합니다. SPEEDFAM 9B-5L-IV는 고정밀 그라인딩, 랩핑 및 연마 어플리케이션에 이상적인 강력한 전동 스핀들을 갖추고 있습니다. 클램핑 힘을 모니터링하기위한 로드 셀이 장착되어 있습니다. 이렇게 하면 과잉 클램핑으로 재료가 손상되지 않습니다. 스핀들의 오일 냉각 기능은 작동 중에 장치가 과열되지 않도록 합니다. 연삭/연마 디스크의 선택은 미세한 곡물의 경우 50um-0.2 "m (슈퍼 피니션), 조잡한 주식의 경우 25-250" m '입니다. 효율적인 연삭 과정을 용이하게하는 다이렉트 다이아몬드 도금 랩핑 플레이트를 지원합니다. 9B-5L-IV는 또한 자동 연삭, 랩핑 및 연마 프로세스를 지원하는 컴퓨터 수치 제어 (CNC) 를 지원합니다. 모델의 내장 CCD 고정장치 카메라는 연삭/연마 웨이퍼 (grinding/polishing wafer) 이미지를 캡처하여 작업 품질을 모니터링 할 수 있습니다. 사용이 간편한 소프트웨어는 자동 정렬 (Auto Alignment), 프로파일 설정 (Profile Setting), 모서리 감지 (Edge Detection) 등과 같은 다양한 매개변수를 제공하여 작업을 용이하게 합니다. 또한, 이 장치에는 내장 오일 미스트 클리너 (oil mist cleaner) 가 장착되어 있으며, 연삭 과정에서 기기를 고수 할 수있는 작은 입자와 분쇄 제품 및 흙을 걸러내어 깨끗한 작동을 보장합니다. 이 모든 기능은 SPEEDFAM 9B-5L-IV 장비로 결합되어 최첨단 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 작업을 위한 경쟁 제품입니다.