판매용 중고 SPEEDFAM 9B-5L-42 #9224846

SPEEDFAM 9B-5L-42는 SPEEDFAM International Incorporated에서 제조 한 고성능 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 통신, 전력 장치, MEMS, MEMC, SOI 및 Wafer Level Optics 산업에 널리 사용됩니다. 이 시스템에는 5 개의 랩핑 플레이트 (4 "x2", 6 "x3" 또는 8 "x4") 가 장착되어 있으며 2 개의 3 헤드 구성에 장착되어 있습니다. 첫 번째 구성은 5L-42N (5L-42N) 이며, 클로즈드 (closed) 가변류 순환 랩핑 오일 유닛과 저전력 브러시 (brush) 를 포함하여 랩핑 사이클 사이에서 플레이트를 청소하고 웨이퍼를 준비합니다. 두 번째 구성은 5L-42C이며, 대신 냉각수 순환 탱크 및 팬 냉각이 포함됩니다. 두 구성 모두 ½ HP 모터로 구동되는 36 인치 그라인딩 휠, 1 HP 모터로 구동되는 420mm 아이들러 테이블, 디지털 텐셔닝 유닛, 특수 그라인딩 및 연마 단계를위한 랩핑/폴리싱 플라텐, 디버링을위한 파우더 버블 머신. 5L-42 도구는 랩핑 정밀도와 최대 ± 1äm의 뛰어난 랩핑 정확도를 제공합니다. 분쇄속도가 최대 2µm/sec 인 높은 제거 속도; 손쉽게 작동할 수 있는 직관적인 9 "컬러 터치스크린과 제어 및 데이터 로깅을 위한 PLC (programmable logic controller) 를 통해 자동화된 작업을 수행할 수 있습니다. 또한, 자산은 견고한 디자인을 자랑하여 모든 유형의 웨이퍼에 적합합니다. 습식 및 건조 처리 용 회전 컨베이어, 웨이퍼 척 (Wafer Chuck) 및 CPU 기반 제어 스테이션을 포함하여 9B-5L-42에도 다양한 맞춤형 옵션을 추가 할 수 있습니다. 이 모델은 또한 모듈식 (modular) 구성을 갖추고 있어 더 강력한 구성 요소로 쉽게 업그레이드할 수 있으며 센서 헤드 컴퓨터 인터페이스 (sensor head computer interface) 및 자동 웨이퍼 로딩 (wafer loading) 및 언로드 시스템 (unloading system) 과 같은 기능을 제공합니다. 전반적으로 SPEEDFAM 9B-5L-42는 안정적이고 인체 공학적 장비로 뛰어난 랩핑 정확도, 높은 제거 속도, 고급 자동화, 다양한 맞춤형 옵션을 제공합니다. 이 "시스템 '은 여러 산업 에 사용 되는" 와우퍼' 를 연마 하고, "랩핑 '하고, 연마 할 때 최상 의 정밀 함 을 찾는 사람 들 에게 믿을 만한 성능 을 제공 한다.