판매용 중고 SPEEDFAM 9B-5B-IV #9223853

SPEEDFAM 9B-5B-IV는 웨이퍼의 정밀 마모, 연마 및 표면 수정을 위해 설계된 고급 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 이 시스템은 웨이퍼를 처리하기 위해 3 개의 특수 연마 휠을 조합하여 사용합니다. 모든 "휠 '은 밀봉 된 환경 에 고정 되어 있으며, 정밀 한 연삭 과 연마 를 위해 수직 평면 으로 회전 한다. 연삭 및 랩핑 휠은 미세 또는 거친 알루미늄 산화물 (aluminum oxide) 곡물로 구성되며, 복합 스핀들에 고정됩니다. 이 "스핀들 '은" 웨이퍼' 를 손상 시키지 않고 연삭 과 "랩핑 '과정 이 일어날 수 있도록 정확 한 속도 로 회전 한다. 그라인딩 프로세스는 웨이퍼에 플랫 서피스 (flat surface) 를 생성하는 반면, 랩핑 프로세스는 서피스 마무리를 개선합니다. 장치의 마무리 바퀴는 다결정 다이아몬드 (PCD) 휠입니다. PCD 는 산화 "알루미늄 '보다 훨씬 더 연마 되며" 웨이퍼' 의 표면 거칠기 를 증가 시키는 데 사용 된다. 이것은 바퀴의 RPM의 점진적인 증가와 결합 된 정확한 진동 움직임에 의해 달성됩니다. 이 과정은 더 작은 입자를 제거하여 정밀도가 높습니다. 9B-5B-IV 머신은 모듈식 설계를 통해 간단한 유지 관리 및 수리 작업을 수행할 수 있습니다. 여기에는 연산자 (operator) 가 연마 과정과 관련된 잠재적 위험으로부터 보호하도록 하는 내장 보호 캐비닛이 포함되어 있습니다. 전체 도구는 PLC 및 PC를 통해 모니터링 및 제어되며, 운영자가 올바른 그라인딩 프로세스를 선택하도록 구성됩니다. 데이터 로깅 및 보고는 프로세스 및 부품 기록을 추적할 수 있습니다. 이 자산은 자동화를 염두에 두고 설계되었습니다. 설치 시간이 최소화되고 설치 공간이 비교적 적은 시간당 최대 50 개의 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 이 모델은 고객의 특정 요구 사항 (예: 여러 툴과 모듈을 추가할 수 있는 기능) 에 맞게 사용자 정의할 수 있습니다. 전반적으로 SPEEDFAM 9B-5B-IV는 정밀 웨이퍼 연삭, 랩핑 및 연마를위한 강력한 도구입니다. 평탄하고 부드러운 서피스 (surfaces) 를 정확하게 생산할 수 있으며, 표면 마무리도 우수합니다. 장비 자동화 (Automation) 기능을 통해 특정 운영 요구를 충족하도록 구성할 수 있습니다.