판매용 중고 SPEEDFAM 9B-5 #293798806

SPEEDFAM 9B-5는 SPEEDFAM Corporation에서 생산 한 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 시스템입니다. 자동화된 반도체 제조 공정을 위해 매우 정밀한 웨이퍼 (wafer) 연마 및 균일성을 제공하도록 설계되었습니다. 9B-5에는 연삭, 랩핑 및 연마 헤드를 포함하여 7 개의 공정 헤드가 있으며, 이는 정확하게 조절 된 속도로 회전합니다. 디스크 타입 그라인딩 헤드는 회전하는 다이아몬드 연마 휠 (diamond marasive wheel) 과 행성 기어 드라이버 (planetary gear driver) 를 사용하여 더 높은 연삭/연마 속도와 더 나은 표면 마무리 결과를 얻습니다. "웨이퍼 '는 두 머리 사이 에 굳게 붙어 있고, 연삭" 디스크' 와 행성 "기어 '구동 은" 프로그램' 된 RPM 에서 회전 하여 "웨이퍼 '를 연삭 바퀴 와 접하게 한다. 랩핑 헤드는 진동 랩 휠 (oscillating lap wheel) 과 카운터급 시스템 (counterweight system) 을 갖추고 있으며, 기존의 로터리 시스템에 비해 더 효율적이고 정확한 랩을 제공합니다. "랩핑 휠 '은 속도 와 스트로크 속도 로 조정 할 수 있어서, 공정 을 정확 히 제어 할 수 있다. 랩핑 휠은 또한 다이아몬드 마모제를 사용하여 일관된 결과와 높은 정밀도를 보장합니다. 연마 헤드는 프로세스의 마지막 단계를 제공하여 표면 마무리 (surface finish) 의 최고 수준을 보장합니다. SPEEDFAM 연마 헤드는 다른 웨이퍼 크기와 두께를 수용하도록 설계되었습니다. 머리 는 진동 "패드 '와 행성" 기어' 구동 을 이용 하여 최고 의 정확도 와 정확도 를 제공 한다. 개선된 결과를 위해, 헤드는 정확하게 조절 된 속도로 회전하도록 설계되었습니다. SPEEDFAM 9B-5는 고정밀 웨이퍼 연삭, 랩핑 및 연마를 위해 설계되었습니다. 모듈식 (modular) 설계를 통해 여러 프로세스 헤드를 추가하고 보다 뛰어난 유연성을 제공합니다. 이 시스템은 또한 고급 디지털 측정 도구와 컴퓨터 제어 전자/기계 시스템 (Computer Controlled Electronic/Mechanical System) 을 사용하여 높은 정확성과 반복 가능성을 보장합니다. 전체적으로 9B-5는 효율적인 그라인딩 및 랩핑, 고밀도 연마, 균일 한 표면 마무리 등 최적의 웨이퍼 처리 성능을 제공합니다.