판매용 중고 SPEEDFAM 9B-5 #293796686
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ID: 293796686
Lapping machine
(3) Double side motors
(4) Way systems
(3) Motor systems
Polisher stainless plate
Plate flatness: Within 5 Microns
MITSUBISHI PLC with touch screen
Power supply: 220 V, 3 Phase.
SPEEDFAM 9B-5 (SPEEDFAM 9B-5) 는 웨이퍼 프로세스에서 일관성 있는 고품질, 고정밀도, 고성능을 보장하도록 설계된 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 다듬기 장비입니다. 규소· 유리· 도자기 등 소재가 있는 반도체 소자의 초정밀· 고성능 응용에 적합하다. 9B-5는 다양한 재료 및 프로세스와 호환되며, 높은 수준의 정확성, 반복 가능성 및 다재다능성을 제공합니다. 그것 은 "실리콘 ', 석영, 도자기 등 여러 가지 두께 와 재료 의" 웨이퍼' 를 처리 할 수 있으며, 이것 은 여러 가지 응용 에 이상적 인 해결책 이 된다. 이 시스템은 쉽게 사용할 수 있으며, 로드, 언로드, 연삭 작업을 위한 사용자에게 친숙한 제어 장치가 있습니다. 프로세스 자동화, 작업 스케줄링, 데이터 수집을 위해 외부 소프트웨어에 시스템을 연결할 수도 있습니다. 이 기계에는 CNC 제어 프로세스 프로그램이 제공되며, 이 프로그램은 그라인드, 랩핑 및 연마 작업에 대한 스핀들 (spindle) 및 테이블 속도를 자동으로 설정합니다. 프로그래밍 가능한 스핀들 속도 및 테이블 회전은 1 ~ 20,000 rpm에서 조정 가능하여 정확하고 반복 가능한 프로세스를 제공합니다. 높은 모터 파워 (motor power) 와 높은 토크 스핀들 (torque spindle) 은 빠른 컷과 높은 재료 제거 속도를 허용합니다. 이 도구는 또한 현장에서 입증 된 진공 척 (vacuum chucks) 을 특징으로하며, 이는 웨이퍼와 최대 처킹 힘에 강력한 그립을 제공합니다. 기계 는 "웨이퍼 '의 전체 표면 에 균일 하고 일관성 있는 압력 을 유지 할 수 있어서, 완전 한" 그라인드' 를 유지 할 수 있다. 특수 자동 리프트 (auto-lift) 기능은 시스템이 작동 중일 때 빠르고 효율적인 로딩, 언로드 및 웨이퍼 변경을 보장합니다. 이 자산에는 다이아몬드, 탄화 실리콘, 산화 알루미늄을 포함한 다양한 연마제가 장착되어 있습니다. 또한 어플리케이션 요구 사항을 충족하기 위해 다양한 그라인딩 속도 (grinding speed) 와 휠 (wheel) 모양을 제공합니다. SPEEDFAM 9B-5 모델에는 자동 휠 체인저 및 O 링 그라인딩 휠과 같은 다양한 옵션이 있습니다. 또한 먼지 수집 (dust collection), 안전 연결 (safety interlock) 및 운영자 보호 극대화를 위한 키 스위치와 같은 향상된 안전 기능을 제공합니다. 9B-5는 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 어플리케이션을 위해 설계된 안정적이고 견고한 장비입니다. 대부분의 반도체 (반도체) 및 기타 전자 기기 어플리케이션에서 가장 높은 품질의 표준을 충족할 수 있는 유연성과 정확성을 제공합니다.
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