판매용 중고 SPEEDFAM 84 BAW #9207276
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ID: 9207276
Single side lapping machine
Equipped with:
(4) Pneumatic hold down plates
With variable hold down pressure
(4) Retainer rings
Water cooled: 84" Segmented lapping plate
Adjustable inner gear drive
Slurry pump and tank
Specifications:
Plate diameter: 84"
Retaining ring ID: 32-1/2"
Total ring area: 3318 Sq. in
Plate speed variable: 0-36 RPM
Main drive: 25 HP
Cylinder size: 8"
Down pressure (Variable): 0-3400 lbs
1972 vintage.
SPEEDFAM 84 BAW는 고정밀 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비로, 각 응용 프로그램에서 우수한 품질의 결과를 얻을 수 있도록 설계되었습니다. 기계 는 연마제 와 화학 과정 의 조합 을 이용 하여 "웨이퍼 '표면 에서 매끄럽고 광택 있는 마무리 를 이룬다. 시스템이 자동화되었습니다. 사용자는 단순히 기판을 유닛의 그라인딩 테이블 (grinding table) 에 로드하고 원하는 매개변수 (parameters) 를 설정하고, 기계는 리스트를 처리합니다. 연산자는 특정 요구에 맞게 그라인딩 프로세스를 조정할 수 있으며, 필요한 경우 프로세스 중간에 매개변수를 변경할 수 있습니다. 84 BAW는 일련의 거칠고 미세한 다이아몬드 휠, 랩핑 및 연마 테이프, 슬러리, 회전 기계 폴리셔 (rotating mechanical polisher) 를 사용하여 원하는 결과를 얻습니다. 연마 재료는 다양한 로드, 연삭 속도, 시간 설정으로 적용되어 응용 프로그램 전반에 걸쳐 균일 한 마무리를 보장합니다. 이 기계는 1um 미만의 평평함과 -04um의 감소 된 표면 거칠기를 가진 비뒤틀린 표면을 생산하도록 설계되었습니다. "머신 '은 크기 와 두께 가 서로 다른 여러 기판 을 동시 에 연마 하고 연마 할 수 있는 완전 한 자동 발진 장치 를 갖추고 있다. 또한 투명한 투명 접착 도구 (post-processing transparent adhesive tool) 를 사용하여 처리 후 샘플을 신속하게 제거할 수 있습니다. 또한, 플랫폼에는 온도와 압력, 급수 (water supply) 에 대한 다양한 센서가 장착되어 있어 최적의 작동 및 결과를 보장합니다. SPEEDFAM 84 BAW에는 간편한 모니터링 및 제어를 위한 GUI (그래픽 사용자 인터페이스) 가 장착되어 있습니다. 대시보드에서는 그라인딩 매개변수 (grinding parameters), 작업 시퀀스 시작 (initiation of operation sequence) 및 처리 정보 평가 (evaluation of processing information) 를 선택할 수 있습니다. 또한, 자산은 하드웨어/소프트웨어 오작동 시 운영자 (Operator) 및 운영 프로세스 보호를 위한 다양한 안전 (Safety) 기능을 통합합니다. 전반적으로, 84 BAW는 여러 응용 프로그램에 대한 파퍼를 연삭, 랩핑 및 연마 할 수있는 강력한 장비로, 더 많은 정확성과 반복 성을 제공합니다. 자동화된 모델, 다양한 센서, 조정 가능한 매개변수, 직관적인 그래픽 인터페이스 (GUI) 를 통해 효율적이고 신뢰할 수 있습니다.
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