판매용 중고 SPEEDFAM 6B-7L/P #9191612

SPEEDFAM 6B-7L/P는 뛰어난 웨이퍼 표면 마무리 및 성능을 제공하는 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. GaAs, InP 및 GaN 장치와 같은 반도체 및 광전자 장치 제조에 적합합니다. 이 시스템은 프로세스 제어, 빠른 주기 시간, 각 웨이퍼 표면의 균일 성 때문에 다이아몬드 (diamond impregnated grinding wheel), 특수 랩핑 헤드 (specialty lapping head) 및 연마 헤드 (polishing head) 의 조합을 사용합니다. SPEEDFAM 6B-7L/P 장치는 직접 드라이브 스핀들, 프로그래밍 가능한 그라인딩 및 랩핑 힘, 정밀 Z축 동작 및 다기능 보조 헤드를 포함한 기계 기능을 갖춘 전체 기능 솔루션입니다. 이 기계는 또한 웨이퍼의 빠른 로드, 터치 스크린 인터페이스, 빠른 설치 및 작동을 위한 내장 자습서를 지원하는 스마트 픽스팅 (smart fixturing) 도구를 갖추고 있습니다. 그라인딩 헤드는 최대한의 그라인딩 효율성을 위해 다이아몬드 연마제를 사용하며, 랩핑 헤드는 균일 한 랩핑 표면에 독점적 인 Verification Plus ™ 헤드를 사용합니다. 연마 헤드에는 작동하기 쉬운 자동 재순환 자산이 포함되어 있어 압력, 속도, 공기 흐름을 조절합니다. SPEEDFAM 6B-7L/P는 또한 조절 가능한 입자 안개 분리기, 밀폐 된 금속 주택, 폐쇄 된 루프 펌프 오일 스프레이어와 같은 클린 룸 친화적 인 기능을 통합하도록 설계되었습니다. 또한, 모델은 다양한 웨이퍼 재료, 해상도 및 최적화된 사이클 매개변수를 수용할 수 있는 프로세스 매개변수를 피쳐링합니다. SPEEDFAM 6B-7L/P에는 각 웨이퍼에 대한 설정 개별 설정 프로파일이 포함되어 있으므로 일관성 및 품질 보장이 향상됩니다. 또한 모든 프로세스 매개 변수에 대한 온라인 데이터 추적 (시스템 유지 관리, 문제 해결, 프로세스 반복) 기능을 제공합니다. 또한 SPEEDFAM 6B-7L/P는 자체 청소 재순환 장비와 자동 먼지 수집을 사용하여 폐기물을 줄이는 데 도움이됩니다. SPEEDFAM 6B-7L/P는 강력하고 다재다능한 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 시스템입니다. 최적화된 마무리, 균일성, 일관된 폼 팩터로 고품질 웨이퍼를 생산하는 데 적합합니다. 청정실 친화적 인 기능, 직관적 인 터치스크린 컨트롤 (touchscreen control) 및 완전하게 자동화된 작동을 통해 반도체 및 광전자 부품의 연삭, 랩핑, 연마 등을 위한 안정적이고 강력한 솔루션입니다.