판매용 중고 SPEEDFAM 64 BSW #293606142

SPEEDFAM 64 BSW 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비는 큰 반도체 웨이퍼 및 평평한 표면에서 낮은 평균 거칠기 및 표면 매끄러움을 달성하기위한 고정밀, 자동 닫힌 루프 기계입니다. 고급형, 정밀도 표면 마감이 필요한 대형 컴포넌트 (직경 300mm) 에 매우 매끄럽고 낮은 스크래칭 서피스를 생성하는 데 이상적입니다. 64 BSW는 고효율 처리를 가능하게 하고 신뢰성이 높은 혁신적인 설계 플랫폼을 통합했습니다. 첨단 모션 컨트롤 시스템 (Advanced Motion Control System) 은 정확한 프로그래밍과 반복 가능한 결과를 제공하는 반면, 고급 에어베어링 스핀들 (Air Bearing Spindle) 은 진동없이 작동하여 효율성과 일관성을 극대화합니다. 프로세스 제어 장치 (Process-Driven Control Unit) 를 사용하면 조작자 인터페이스 및 작동이 쉽고, 자동 자동 진단 기능 및 분석 기능을 통해 성능을 극대화할 수 있습니다. 개방형 루프 제어 시스템은 작업 프로세스의 유연성을 제공합니다. 내장형 전원 모니터링 도구를 통해 안정성이 더욱 향상됩니다. 프로세스 정확도를 높이기 위해 SPEEDFAM 64 BSW에는 개선 된 가공소재 보유 용 진공 척 (vacuum chuck) 이 포함되어 있으며, 웨이퍼의 로컬 및 글로벌 온도 제어를 위한 통합 냉각 기능이 포함되어 있습니다. 닫힌 루프 제어 (closed loop control) 자산은 장기간에 걸쳐 정확하며 단조로운 반복성을 제공합니다. 또한 64 BSW는 다이아몬드 및 알루미나 연마제 디스크, 천연 윤활제 모델 및 싱크대 마무리 작업을 포함한 Grinding, CMP 및 Polishing 프로세스 기술 중 하나를 사용합니다. 효과적 이고 효율적 인 재료 는 적절 한 힘 으로 장비 에 힘 을 주며, 이상적 인 표면 마무리 (surface finish) 품질 을 제공 할 수 있다. SPEEDFAM 64 BSW (SPEEDFAM 64 BSW) 는 낮은 TCO (총소유비용) 로 가용성을 유지하면서 높은 품질과 효율성으로 작동하도록 설계되었습니다. 정확하고 정확하게이 시스템은 기판에서 안정성이 높고, 반복 가능하며, 긁힘이 적은 표면을 생성할 수 있습니다. 결과는 일관되고 견딜 수있는 크기, 모양, 형태를 가진 매끄럽고 평평한 표면입니다. 이 기계는 의료, 자동차, 가전 산업을 위한 고품질, 정밀한 구성 요소를 생산하기 위한 비용 효율적인 솔루션을 제공합니다.