판매용 중고 SPEEDFAM 64 BAW #9226536

SPEEDFAM 64 BAW는 웨이퍼 표면의 빠르고 정확한 제조를 위해 설계된 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 작은 설치 공간과 강력한 사용자 인터페이스를 갖춘 대용량 (High-Capacity) 자동 시스템으로, 연삭, 랩핑, 연마 프로세스를 단순화, 간소화합니다. 64 BAW의 연삭 용량은 최대 64 4 인치 웨이퍼, 최대 밴드 너비는 0.25mm입니다. 정밀 고속 연삭, 랩핑 및 연마를위한 고속 7 축 테이블이있는 정확한 5 축 동작 제어 장치가 특징입니다. 이 테이블에는 미세 (Fine) 단계 해상도로 테이블을 3방향으로 회전시킬 수 있는 정밀도 (Precision) 포지셔닝 머신이 장착되어 있습니다. SPEEDFAM 64 BAW는 다이아몬드 휠 리드 마무리 기술을 사용하여 표면 품질이 우수합니다. 고정밀 리드 마무리 (high-precision lead finish) 는 자유 표면과 짝수 표면 거칠기로 갈아냅니다. 이는 수동으로 생성 된 표면보다 현저히 좋습니다. 또한 분쇄하는 동안 소음과 진동을 줄이는 데 도움이되는 자력 유체 댐퍼 (magnetorheological fluid damper) 도구를 사용합니다. 이 자산에는 다양한 프로세스 매개변수 (process parameter) 가 포함되어 있어 고객의 요구에 가장 알맞게 조정할 수 있습니다. 연삭 (grinding), 랩핑 (lapping) 및 연마 (polishing) 매개변수를 자동으로 조정하도록 프로그래밍되어 일관된 표면 품질을 유지하고 주기 시간을 최소화할 수 있습니다. 64 BAW 모델은 완전히 자동화되어 있으며 Class 100 및 Class 1000 청결 표준과 함께 Cleanroom 환경에서 작동 할 수 있습니다. 또한 "웨이퍼 '입자 와의 접촉 을 피하여 오염 과 공기 입자 오염 을 최소화 하는, 위험 한 환경 보호 기능 이 있다. SPEEDFAM 64 BAW는 효율적이고 신뢰할 수있는 장비로, 반도체 웨이퍼 및 기타 기판의 대용량 연삭, 랩핑 및 연마가 가능합니다. 직관적인 사용자 인터페이스 (user interface), 효율적인 자동화 (automation) 및 위험 환경 보호 (Hazardous Environmental Protection) 와 결합하여 표면 품질과 최소 주기 시간이 뛰어난 웨이퍼 서피스 생산에 이상적인 시스템입니다.