판매용 중고 SPEEDFAM 5B-8L-I #9257680

SPEEDFAM 5B-8L-I
ID: 9257680
빈티지: 1995
Double side lapping machine (2) Manuals No carrier 1995 vintage.
SPEEDFAM 5B-8L-I 장비는 빠르고 정확한 결과를 제공하도록 설계된 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 시스템입니다. 연삭 공정의 정밀 방향 제어를 제공하는 5 축 CNC 제어가 장착되어 있습니다. 따라서 정확성과 반복성이 높아져 일관된 제품 품질이 보장됩니다. 기계는 단일 부품과 별도로 큰 웨이퍼를 연마 할 수 있습니다. 5 축 CNC 제어는 또한 기계가 백사이드 그라인딩에 사용될 수 있도록 해줍니다. 백사이드 그라인딩 (backside grinding) 은 강화 된 기판을 갖춘 고급 응용 프로그램에 필요합니다. 장치의 둥근 연삭 부분은 직경이 최대 8 인치 인 웨이퍼를 유지할 수 있습니다. "와퍼 '는 빠른 속도 로 수직 축 으로 회전 하여 매우 높은 정확도 로 작업 을 수행 한다. 라운드 랩핑 부품은 최대 8 인치 웨이퍼를 고정하고 표면에 다양한 그루브, 호, 컨투어 및 리버스 베벨 모양을 적용할 수도 있습니다. 프로그래밍 가능한 컨트롤러가 장착되어 있어 빠른 설치 및 작동을 위해 자동 부품 인식 (Automatic Part Recognition) 기능을 제공합니다. 또한 수동 제어 (Manual Control) 기능을 통해 운영자가 프로세스를 세밀하게 조정하여 고객의 요구를 충족할 수 있습니다. 기계의 플랫 랩핑 (flat lapping) 부분은 플랫 기판을 랩핑할 때 최대 정밀도를 제공하도록 설계되었습니다. 그것 은 공압 "클램프 '장치 로" 웨이퍼' 를 정확 한 위치 에 빨리 고정 시킬 수 있다. 플랫 랩핑 부품은 8 인치 너비의 웨이퍼로 작동 할 수 있으며 최대 0.060 "(2mm) 의 깊이를 처리 할 수 있습니다. 직선, 원, 호, 사각형 모양, 사각형 구멍, 리버스 베벨 모양, 키웨이 등의 다양한 기능을 생성할 수 있습니다. 공압 클램핑은 또한 재 보정 없이 여러 부분 반복을 생성하는 기능을 제공합니다. 공구의 연마 부분은 최종 마무리 (finish) 를 그라운드 및 랩된 서피스에 적용합니다. 이 "프로그램 '가능" 컨트롤러' 는 사각형, 원, 호 와 같은 여러 가지 모양 으로 신속 히 설치 할 수 있다. 0.080 "(2mm) 두께의 기판을 처리 할 수 있습니다. SPEEDFAM 연마 자산은 뛰어난 성능과 일관된 연마 결과를 제공합니다. 속도, 정확성 및 반복성의 조합으로 5B-8L-I 모델은 고급 정밀 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 작업에 이상적인 선택이 됩니다. 매우 엄격한 공차와 거칠기 (roughness) 요구 사항으로 고품질 서피스를 생성할 수 있습니다. 가변 속도 (variable speed) 를 통해 서로 다른 재료와 가공소재 크기를 빠르고 효율적으로 처리할 수 있습니다. 마지막으로, 5 축 CNC 컨트롤은 광범위한 동작을 제공하여 고급 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 응용 프로그램의 정확하고 정확한 작동을 가능하게합니다.
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