판매용 중고 SPEEDFAM 5B-7L-II #293616758

SPEEDFAM 5B-7L-II
ID: 293616758
빈티지: 1985
Double sided lapping system 1985 vintage.
SPEEDFAM 5B-7L-II는 정밀 웨이퍼 연삭, 랩핑 및 연마 장비입니다. 이 "시스템 '은 여러 가지 형태 의 반도체 재료 를 연삭, 랩, 연마 하고, 추가 처리 를 위한 정밀 가공 표면 을 생산 하도록 설계 되었다. 이 장치는 고정밀도, 사용 편의성 및 유지 관리를 위해 설계되었습니다. 구성 요소는 다양한 재료와 프로세스에 최대 유연성을 제공하도록 설계되었으며, 설정 시간이 최소화됩니다. 기계의 주요 작동 원리는 여러 단계의 조합입니다. 최대 7 개의 웨이퍼를 지원하는 8 개의 스테이션 로터리 테이블로 시작합니다. 웨이퍼는 제자리에 설정되고 진공 척이 적재됩니다. 일단 안전 하면, "다이아몬드 '공구 를 사용 하여" 웨이퍼' 의 표면 을 갈아 놓는 데 "로터리 테이블 '과 결합 된 굳어진 공구 를 사용 한다. 그런 다음 웨이퍼는 랩핑 스테이션 (lapping station) 으로 옮겨져 다이아몬드 임베디드 랩핑 플레이트 (diamond-embedded lapping plates) 를 사용하여 추가로 연마됩니다. 원하는 서피스 마무리가 달성 될 때까지 랩핑 프로세스가 필요에 따라 반복됩니다. 그 후, 웨이퍼는 더 세밀한 마무리를 위해 연마 스테이션으로 옮겨집니다. 여기서 웨이퍼는 다이아몬드 내장 연마 판에 의해 기계적으로 연마됩니다. 마지막으로, 시스템에서 언로드하기 전에 웨이퍼를 검사합니다. 주요 기능 중 5B-7L-II (5B-7L-II) 는 작동하는 동안 웨이퍼에 대한 완전한 보호를 제공하는 독특한 먼지 수집 기계를 통합합니다. 이 도구 는 기계 바닥 에 위치 한 진공실 (vacuum chamber) 과 별도의 공기 여과 장치 (air filtration unit) 로 이루어져 있습니다. 이 제품은 먼지 없는 작업 환경, 높은 처리 용량 및 최적의 성능을 제공합니다. 이 기계는 또한 작동을 제어하고 원격 모니터링 (remote monitor) 및 매개변수 조정을 용이하게 하는 임베디드 (embedded) 컴퓨터 자산을 갖추고 있습니다. 또한, 기계 (machine) 는 프로세스 전반에 걸쳐 필요에 따라 작업 매개변수를 자동으로 조정하여 일관되게 고품질 (high-quality) 제품을 만들 수 있습니다. SPEEDFAM 5B-7L-II의 다용도 및 정밀도 (precision) 는이 모델이 산업 용도와 우수한 가공 표면이 필요한 모든 응용 프로그램에 이상적입니다. 이 장비는 반도체, IC 및 기타 전자 부품의 생산에 사용되어 최적의 성능을 위해 최고의 표면 (surface) 을 만듭니다. 자동차, 항공 우주, 의료, 소비자 제품 및 기타 산업에서 사용됩니다.
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