판매용 중고 SPEEDFAM 59 SPAW #9073254

SPEEDFAM 59 SPAW는 반도체 산업에서 사용하도록 설계된 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 최대 11 개의 웨이퍼를 동시에 처리 할 수있는 멀티 축 시스템입니다. 고정밀 저진동 연산 (low-vibration operation) 을 사용하면 단일 연산으로 랩핑, 연마 및 평탄도를 측정 할 수 있습니다. 59 SPAW에는 5 개의 서보 구동 축이 장착되어 있습니다. X, Y, Z축은 연삭/연마 헤드의 3 차원 이동 및 회전을 가능하게합니다. 또한 B 축과 A 축은 각각 X 방향과 Y 방향에서 4 차원 표시와 45도 위치를 설정할 수 있습니다. 2 개의 추가 A-B 축을 사용하면 전체 표면 영역 연삭 또는 연마 처리가 가능합니다. SPEEDFAM 59 SPAW는 완전히 밀폐 된 챔버가있는 먼지가없는 환경을 제공합니다. 기압 및 가습기가 장착되어 있으며, 저온 및 고습도 조건에서 연마 및 연마에 적합합니다. 통합 추출 및 재순환 장치는 전반적인 청결 및 대기 질 제어를 제공합니다. 이 장치는 단일 및 다중 결정 웨이퍼의 연삭 및 연마에 적합합니다. 8 가지 유형의 연삭 디스크, 수지 결합 다이아몬드 디스크, 연마제 연삭 코너 및 초음파 절단 디스크를 수용하여 다양한 특정 응용 분야에 적합합니다. 또한, 가공소재에 연삭/연마 화합물을 정확하게 적용하기 위해 잉크젯 디스펜서를 사용합니다. 59 SPAW는 기존 라인과 쉽게 통합 할 수 있습니다. "프로그램 '이 가능하므로 사용자는 요구 사항에 따라 레시피 및 설정 매개변수를 저장할 수 있습니다. 자동 로드/언로드 시스템 (옵션) 은 일괄 처리 및 일상적인 작업에 도움이 됩니다. 또한 원격 유지 보수가 용이한 외부 진단 포트가 있습니다. 결론적으로 SPEEDFAM 59 SPAW는 반도체 산업을위한 효율적이고 신뢰할 수있는 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 도구입니다. 탁월한 정밀도, 작동 편의성, 먼지 없는 작동을 위한 완전 밀폐형 챔버를 제공합니다. 자동 로드/언로드 (Auto Load/Unload) 에셋, 잉크젯 디스펜서, A-B 축 (옵션) 및 외부 진단 포트와 같은 추가 기능을 통해 59 SPAW는 와퍼 처리 응용 프로그램에 도전하는 데 적합한 선택입니다.