판매용 중고 SPEEDFAM 50G #9377485

SPEEDFAM 50G
ID: 9377485
빈티지: 2011
Single side polishers 2011 vintage.
SPEEDFAM 50G (SPEEDFAM 50G) 는 최고 수준의 정확성과 반복성을 갖춘 반도체 제품을 효율적으로 제작하기 위해 설계된 고급 웨이퍼 그라인딩, 랩핑, 연마 장비입니다. 이 시스템은 한 번에 최대 2 개의 웨이퍼를 동시에 연삭 및 연마 할 수있는 이중 헤드 (dual-head) 연마 메커니즘을 기반으로하며, 이는 더 빠른 생산률과 향상된 처리량을 제공합니다. 그라인딩 헤드 (grinding head) 에는 빈번한 유지 보수 및 교체가 필요하지 않은 오래 지속되는 연마 작용을 위해 다이아몬드 (diamond-impregnated) 핀이 장착되어 있습니다. 랩핑 헤드는 정밀하게 제어 된 전동 스핀들 (spindle) 에 장착되어 일정한 회전 속도를 유지합니다. "웨이퍼 '가" 랩핑' 머리 와 "플래튼 '사이 를 지나가면서" 다이아몬드' "핀 '은 회전 하는" 웨이퍼' 표면 을 향해 회전 하여 원하는 정도 의 정확도 로 연마 한다. 장치 컨트롤은 로드 신호 (load-signal) 및 웨이퍼 토크 (wafer torque) 에 따라 랩핑 및 연마 속도를 조정하는 고급 닫힌 루프 (closed-loop) 알고리즘을 사용하여 전체 프로세스를 모니터링하여 최적의 결과를 얻을 수 있습니다. 50G는 다양한 웨이퍼 (wafer) 재료를 처리하도록 설계되었으며 다양한 컨트롤, 액세서리, 연마 옵션을 통해 다양한 어플리케이션에 쉽게 적응할 수 있습니다. 이 기계는 재료 활용도를 극대화하고 공정 폐기물 (process waste) 을 줄여 전반적인 생산 비용을 절감하도록 설계되었습니다. 견고한 구성과 고품질 구성요소는 오랜 기간 동안 일관되고 안정적인 성능을 제공합니다. 또한, 이 툴은 가동 중지 시간 최소화, 신속한 설치 시간 단축, 가동 시간 극대화, 생산 효율성 향상 등 이동이 용이하고, 유지 관리가 용이하도록 설계되었습니다.
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