판매용 중고 SPEEDFAM 50 SPAW #293723765

SPEEDFAM 50 SPAW 장비는 최대 6 인치 직경의 유리, 실리콘 및 세라믹 웨이퍼의 정밀 연삭이 가능한 독특하고, 고속 연삭, 랩핑 및 연마 시스템입니다. 이 장치는 가변 속도 주파수 인버터 (Variable Speed Frequency Inverter) 와 브러시리스 DC 모터 (Brushless DC Motors) 를 갖춘 뛰어난 스핀들 기술을 통해 1,000 ~ 35,000rpm 사이의 조절 가능한 속도를 제공합니다. 50 SPAW는 3 상 Brushless DC 모터로 구동되는 2 스테이션, 고 토크, 스테인리스 스틸, 행성 기어 구동 스핀들을 갖추고 있습니다. 이 모터는 최대 12kw의 토크를 생성 할 수 있으며 가변 속도 주파수 인버터 (variable speed frequency inverter) 를 특징으로하여 스핀들의 속도를 1,000 ~ 35,000 rpm 사이에서 조정할 수 있습니다. 이를 통해 웨이퍼 표면의 이상적인 연삭 및 연마가 가능합니다. 또한 2 스테이션 설계를 통해 그라인딩 (Grinding) 및 연마 작업을 신속하게 대체하고 다운타임을 최소화할 수 있습니다. SPEEDFAM 50 SPAW에는 5 축 머신 헤드가 추가로 장착되어 있으며, 복잡한 복합 평면 모양을 위해 완전한 5 축 연삭 및 연마가 가능합니다. 50 SPAW의 기계 헤드의 C 축은 최대 정밀도 연삭을 보장하기 위해 0도에서 5도로 조절 할 수 있습니다. SPEEDFAM 50 SPAW에는 최적의 웨이퍼 로딩 및 클램핑을위한 멀티 포지션 척도 장착되어 있습니다. 척은 한 번에 최대 6 인치 6 인치 직경의 웨이퍼를 수용 할 수 있으며, 더 큰 다용도로 쉽게 교환 할 수 있습니다. 50 SPAW의 제어 머신 (control machine) 은 연삭 및 연마 프로세스를 최적화하고 최대 정밀도를 보장하는 독특한 웨이퍼 제어 알고리즘을 특징으로합니다. 또한 SPEEDFAM 50 SPAW는 특허를받은 HMI (Human-Machine-Interface) 를 사용하여 두께와 구성이 다양한 웨이퍼에 필요한 연삭 및 연마 속도를 결정합니다. 이 조절 가능한 알고리즘은 광범위한 재료에서 완전 자동 그라인딩 (grinding) 및 연마 (polishing) 크기를 허용합니다. 결론적으로, 50 SPAW 도구는 최첨단, 고속 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 자산으로, 다양한 웨이퍼 크기와 재료에 적합합니다. 우수한 스핀들 (spindle) 및 다중 축 그라인딩 기능, 가변 속도 및 조절 가능한 연마 알고리즘으로, 모든 정밀 웨이퍼 응용 프로그램에 이상적인 선택입니다.