판매용 중고 SPEEDFAM 50 GPAW #9294584

SPEEDFAM 50 GPAW는 얇고 정밀한 웨이퍼 생산을 위해 설계된 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 이 시스템은 효율적인 배치 유형 생산을 위해 배치 당 최대 50 개의 6 인치 웨이퍼를 수용하는 통합 작업 트레이를 갖추고 있습니다. 이 장치에는 또한 높은 강성과 최고 정확도를 달성 할 수있는 공기 베어링 (air-bearing) 유형의 선형 스핀들 (linear spindle) 이 포함되어 있습니다. 스핀들은 특허를받은 "조정 가능한 자동화 및 제어 (Adjustable Automation and Control)" 기계를 특징으로하며, 각 웨이퍼에 대한 이송 속도, 휠 위치, 패스 수 및 연마 시간과 같은 요소를 자동으로 정확하게 제어합니다. 연삭은 특수 페이스트와 함께 CBN 또는 다이아몬드 연삭 휠 (diamond grinding wheels) 을 사용하여 주철 비품에서 수행됩니다. 그라인딩 휠은 웨이퍼 두께와 평평함에 대한 정확한 제어를 위해 조정 가능한 레이디 얼 런아웃 (radial run-out) 을 갖습니다. "랩핑 '과정 은 연삭 을 따르며, 여러 가지 형태 의 연마 천 과 연마" 슬러리' 로 이루어진다. 랩핑 프로세스에는 웨이퍼 두께 (wafer thickness) 의 균일성을 달성하기 위해 인덱스화 가능한 회전 디스크가 포함됩니다. 연마 프로세스는 초 매끄러움을 달성하는 데 사용되며, 뛰어난 표면 마무리 품질을 제공하는 특허를받은 SLG (SigmaLink Grind) 프로세스를 사용합니다. 50 GPAW는 또한 와퍼 (wafer) 와 윤활제를 연삭 및 연마 단계에서 마무리 후 단계로 옮기는 자동 웨이퍼 처리 도구를 사용합니다. 자산은 다양한 두께로 최대 6 인치 직경의 광범위한 웨이퍼 (wafer) 크기를 처리 할 수 있습니다. 이 모델은 안전하고 사용자 친화적이며, 수작업을 최소화하면서 하이엔드 마감 기능을 제공합니다. SPEEDFAM 50 GPAW는 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마를위한 완벽한 솔루션을 제공합니다. 하이엔드 기술 (High-End Technology) 은 짧은 생산 주기 내에서 우수한 결과를 제공하므로 이 머신으로 생산되는 웨이퍼가 매우 정확하고 품질이 높습니다.