판매용 중고 SPEEDFAM 50 GPAW-TD #9377484

SPEEDFAM 50 GPAW-TD는 SPEEDFAM에서 제조 한 고정밀 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 이 시스템은 뛰어난 정밀도 및 표면 마무리로 반도체 기판을 갈아 넣는 데 사용할 수 있습니다. 이 장치에는 최대 40000 RPM까지 작동 할 수있는 듀얼 모터 CNC 제어 고속 스핀들이 있습니다. 따라서 고객이 정의한 CNC 프로그램에서 고속 그라인딩 (grinding) 및 랩핑 (lapping) 프로세스가 가능하며 뛰어난 정확성과 표면 신뢰성을 제공합니다. 다양한 랩핑 플레이트는 마무리, 질감, 거칠기 및 랩핑 경사를 정확하게 제어합니다. 이 기계는 또한 강화 된 표면 마무리를위한 긴장없는 컨디셔닝 도구 (tensionless conditioning tool) 를 갖추고 있으며, 이는 갈기 및 랩핑 균열을 줄이는 데 도움이됩니다. 50 GPAW-TD에는 다양한 다이아몬드 및 다이아몬드 코팅 연마 휠이 장착되어 있습니다. 이를 통해 사용자는 무결성 (integrity) 을 최소화하면서 기판을 갈고 랩하여 치수를 정밀하게 만들 수 있습니다. 조정 가능한 스플라인 세그먼트를 사용하면 그라인딩 (grinding) 및 랩핑 (lapping) 휠을 안정적으로 정렬할 수 있으므로 사용자가 높은 반복 결과를 얻을 수 있습니다. 이 자산은 또한 자동 로드 장치 (auto-loading unit) 를 갖추고 있어 수동 개입을 줄이고 일관된 프로세스 내 품질 제어를 허용합니다. 조정 가능한 연마 농도 제어를 사용하여 연삭 및 랩핑 프로세스를 사용자 정의할 수도 있습니다. PLC 제어 진공 모델은 최대 24 개의 샘플 홀더를 수용하여 웨이퍼 그라인딩 공정의 효율적인 사용을 향상시킵니다. 진공 설비 는 또한 "그라인딩 '과" 랩핑' 과정 중 에 "웨이퍼 '를 잡아 들어 올리는 튼튼 한" 잭업' 장치 와 통합 되어 있다. SPEEDFAM 50 GPAW-TD에는 웨이퍼의 먼지 및 잔해 오염을 방지하는 효율적인 먼지 추출 장치가 장착되어 있습니다. 이 기계 는 또한 안전 "루브르 '를 갖추었는데, 이것 은 파편 을 방지 하고 깨끗 한 도구 를 정비 하는 데 도움 이 된다. 이 에셋은 빠른 설정과 간편한 운영을 위해 단계별 지침과 함께 프로세스 사이클 (process cycle) 을 제공합니다. 50 GPAW-TD (50 GPAW-TD) 는 다양한 평면 및 구형 기판의 고정밀 연삭 및 랩핑에 이상적이며, 빠른 워밍업 시간과 낮은 전력 등급의 고품질 표면을 제공합니다.