판매용 중고 SPEEDFAM 50 GPAW-TD #9377482

SPEEDFAM 50 GPAW-TD
ID: 9377482
빈티지: 2011
Single side polisher 2011 vintage.
SPEEDFAM 50 GPAW-TD는 대용량 반도체 생산의 까다로운 요구 사항을 충족하도록 설계된 전문 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 이 시스템은 표면 준비 및 다듬기 후 응용 프로그램 모두에 필요한 정확성과 안정성을 제공합니다. 50 GPAW-TD는 직경이 최대 200mm 인 다양한 웨이퍼 크기를 연마 및 연마 할 수 있습니다. 유난히 높은 수준의 정확성과 반복성 (repeatability) 은 평평한 실리콘 웨이퍼를 연삭 (grind flat silicon wafer) 하고 후속 장치 제작을 위해 준비하는 등 까다로운 정밀 작업에 이상적입니다. SPEEDFAM 50 GPAW-TD는 최첨단 그라인딩 및 연마기를 사용하여 뛰어난 표면 마무리를 유지하면서 고효율과 속도를 결합합니다. 공구에는 다양한 곡물 (grain) 크기의 다양한 교체 가능한 연삭 (grinding) 과 연마 (polishing) 헤드가 장착되어 있어 특정 응용 프로그램의 요구에 맞게 프로세스를 쉽게 조정할 수 있습니다. 견고한 스핀들 모터 (spindle motor) 및 선형 드라이브 (linear drive) 는 일정한 로드 조건에서도 안정적인 작동을 제공하여 정확한 결과를 보장합니다. 특허를받은 에어 베어링 스테이터 드라이브 (Air Bearing Stator Drive) 를 통해 기계는 꾸준한 rpm을 유지하면서 빠르게 움직일 수 있습니다. 50 GPAW-TD의 넓은 작업 영역은 대규모 생산 직업에 적합합니다. 각 웨이퍼에서 동시 연삭 및 연마 작업을 제공하며, 주기 시간을 극적으로 단축합니다. 대형 초음파 챔버는 한 번에 여러 웨이퍼를 작업 할 수 있으며, 이는 SPEEDFAM 50 GPAW-TD에서만 발견되는 독특한 기능입니다. 우수한 성능 외에도 50 GPAW-TD는 조작이 쉽고 운영자의 피로가 줄어들 수 있도록 설계되었습니다. 최신 제어 인터페이스에는 무인 워크플로 (Unattended Workflow) 용 자동 종료 (Auto-Shoff) 와 나중에 사용할 수 있도록 저장 및 리콜할 수 있는 사전 설정된 프로세스 매개변수 (Preset Process Parameter) 를 비롯한 다양한 사용자 친화적 기능이 있습니다. 자산에는 고급 안전 시스템 (예: 보호 커버의 전기 연동 장치 및 비상 전원 차단 스위치) 도 포함됩니다. SPEEDFAM 50 GPAW-TD는 모든 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 요구에 강력하고 안정적이며 비용 효율적인 솔루션입니다. 정확하고, 반복 가능한 결과와 우수한 표면 마감으로 대규모 생산 및 정밀한 포스트 폴리스 (Post-Police) 어플리케이션 모두에 이상적인 솔루션이 됩니다.
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