판매용 중고 SPEEDFAM 50 DPAW #9363680

ID: 9363680
빈티지: 2011
Polisher 2011 vintage.
SPEEDFAM 50 DPAW (Dual-Plane Abrasive Wheel) 웨이퍼 연삭, 랩핑 및 연마 장비는 고급 기술과 반도체 처리를 위한 최적의 솔루션을 제공합니다. 이 시스템은 작동이 용이하도록 최적화된 듀얼 플레인 (dual-plane) 설계를 제공하며 다양한 크기와 기판의 반도체 웨이퍼를 처리하기 위한 최적의 결과를 제공합니다. DPAW 장치는 연삭 (grinding) 및 연마 (polishing) 매개변수를 완벽하게 제어하도록 설계되었으며, 다른 재료를 처리하거나 특정 응용 프로그램에 대한 미세 튜닝을 수행 할 때 여러 변경 사항이 필요하지 않습니다. 이 기계는 2 개의 동시 그라인딩 휠을 사용하여 최적의 그라인딩 및 랩핑 성능을 제공하는 듀얼 플레인 (dual-plane) 설계로 작동합니다. DPAW 는 조절 가능한 전원 공급 (power feed) 을 사용하여 양방향으로 적절한 분쇄력을 보장합니다. 이 기능은 반도체 웨이퍼 (wafer) 와 같은 섬세한 재료를 다룰 때 훨씬 높은 수준의 제어를 가능하게 합니다. 보다 균일 한 결과를 얻으려면, 이 도구는 또한 프로그래밍 가능한 주파수 인버터로 구동되는 유연하고 높은 토크 그라인딩 스핀들 (spindle) 을 사용합니다. 이는 웨이퍼 두께나 지름에 관계없이 균일한 연삭 속도와 힘을 보장합니다. SPEEDFAM 50 DPAW 에셋의 프로그래밍 및 작동은 쉽고 직관적이며, 그래픽 사용자 인터페이스를 통해 수행할 수 있습니다. 이 인터페이스를 사용하면 연삭 속도, 방향, 힘 (grinding speed, direction, force) 과 같은 여러 매개변수를 설정할 수 있으며, 디지털 동적 보상 (digital dynamic compensation) 과 같은 기능을 통해 연삭 효과를 극대화할 수 있습니다. 이 모델을 사용하면 터치스크린 패널에 모든 키 처리 매개변수 (예: 격자 간 속도, 거친 농도, 총 연삭 시간) 를 모니터링, 제어, 기록할 수 있습니다. 또한, 자동 매개변수 제어 (automatic parameter control) 및 통합 자체 조정 시스템 (integrated self-calibration system) 과 같은 추가 고급 기능을 사용하여 장비를 구성할 수 있습니다. 마지막으로, DPAW 장치는 견고한 기계적 설계와 첨단 기술 (Advanced Technology) 로 인해 성능이 안정적이고 일관성이 뛰어납니다. 무겁고, 강철로 강화된 구조는 뛰어난 내구성과 진동 감쇠를 제공하여 기계의 수명을 늘리고 반복 가능한 정확성을 보장합니다. 이 기계는 또한 유지 보수 (maintenance-free) 방식으로 설계되었으며, 액세스 쉬운 클리닝 포인트로 오랫동안 최적으로 실행되도록 설계되었습니다. 사용자에게 친숙한 고급 디자인의 50 DPAW 도구는 반도체 처리 어플리케이션을 위한 최적의 솔루션을 제공합니다.
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