판매용 중고 SPEEDFAM 48BTAW #9199491
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ID: 9199491
빈티지: 1970
Lapping system
Segmented lap plate diameter: 48”
Standard segment thickness: 1-1/2”
Inside diameter of the 4 conditioning rings: 18”
Total ring area: 1018 Sq inches
Plate speed: 63 RPM
Down pressure per head: 1260 Lbs
(4) Cylinder size: 5” Diameter
Equipped with:
48” Diameter segmented lapping plate
(4) Air pressure hold downs with pressure plates
(4) Geared conditioning rings
10 Hp main drive motor & controls
Water cooled table system
Outside parts loading table
Slurry pump & tank unit
Automatic cycle timer control
Push button control station
1970 vintage.
SPEEDFAM 48BTAW는 반도체 및 기타 정밀 장치 제조 응용 분야에 사용하도록 설계된 최첨단 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 다듬기 장비입니다. 최적 (optimized) 연마제 연삭 기능과 매우 낮은 진동 특성으로 탁월한 표면 마무리 및 균일성을 제공하여 처리량 (maximum throughput) 및 생산량 (production revield) 을 제공합니다. 이 시스템에는 그라인딩 (grinding) 과 연마 휠 (polishing wheel) 의 조합을 사용하여 웨이퍼 (wafer) 의 모양 및 표면 마무리를 정확하게 제어 및 조정 할 수있는 다단계 3 단 작동이 포함됩니다. 이 과정을 통해 실리콘, 석영, 원료, 웨이퍼 등 다양한 재료를 정확하게 랩핑, 그라인딩 및 연마할 수 있습니다. 48BTAW에는 매끄럽고 정확한 가공소재 피드 및 고속 작동을 위한 고정밀 플랫 스핀들 드라이브 (flat spindle drive) 가 있어 작동 전반에 걸쳐 최적의 제어 및 정확성을 보장합니다. 내장된 컴퓨터 제어 프로세스 기능을 통해 속도, 피드, 냉각수를 조정하여 반복 가능한 결과를 얻을 수 있습니다. 사용자 친화적 인 연산자 인터페이스는 원하는 그라인딩 매개변수를 쉽게 선택할 수 있으며, LCD (LCD) 패널에는 쉽게 보고 해석할 수 있도록 매개변수가 그래픽 및 숫자 형식으로 표시됩니다. 이 장치에는 종합적인 신호 출력 안전기 (Signal Output Safety Machine) 와 작업장 (Work Area) 인근의 요원을 보호하기위한 충격 방지 벽이있는 소음 챔버 (Noise Chamber) 를 포함한 여러 안전 기능이 장착되어 있습니다. SPEEDFAM 48BTAW에는 그라인딩 휠 (Grinding Wheel) 과 가공소재 (Workpiece) 가 손상되지 않도록 강력한 자동 정지 동작 제어 기능과 장애 안전 제동 도구가 장착되어 있습니다. 이 자산에는 최적의 그라인딩 휠 온도 (grinding wheel temperature) 와 내장 밀봉 냉각수 (sealed sealed coolant model) 모델이 있어 작동 중에 바퀴를 식히고 깨끗함을 제공합니다. 또한, 장비에는 입자 크기 분배기 (particle size distributor) 및 자동 휠 오버 드라이브 보호 (automatic wheel overdrive protection) 와 같은 여러 다른 기능이 포함됩니다. 전반적으로, 48BTAW는 효율적이고 신뢰할 수있는 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 시스템으로, 최적화된 연마 기능과 매우 낮은 진동 특성을 갖춘 뛰어난 표면 마무리 및 균일성을 제공합니다. 이 장치는 모든 웨이퍼 그라인딩 (wafer grinding), 랩핑 (lapping) 및 연마 (polishing) 어플리케이션에 적합한 솔루션으로, 최대 처리량 및 생산 수익률을 위해 설계되었습니다.
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