판매용 중고 SPEEDFAM 48 GPAW-III #293672263

ID: 293672263
빈티지: 2010
Single-sided polisher 2010 vintage.
SPEEDFAM 48 GPAW-III 웨이퍼 연삭, 랩핑 및 연마 장비는 반도체 웨이퍼 및 기타 부품의 연마, 연삭 및 랩핑을 전문으로하는 완전 자동화 시스템입니다. 효율적이고, 고품질의 결과를 제공하고, 결함이 없고, 광택이 있는 표면을 빠르고, 효율적으로 생성하는 매우 효과적인 장치입니다. 이 기계에는 풀 레인지 그라인딩 휠, 웨이퍼 캐리어, 랩핑 디스크, 실리콘, 갈륨 비소, 질화 갈륨 등 다양한 복잡한 기판 기하학 및 재료를 처리하도록 설계된 연마 패드 등 다양한 도구가 포함되어 있습니다. 모든 도구는 자체 정렬되어 정확하고 안정적인 결과를 제공합니다. 또한 다양한 래핑 속도 (lapping speed) 와 힘 제어 (force control) 를 사용하여 각 응용 프로그램에 맞게 프로세스를 최적화할 수 있습니다. 효율성을 높이려면 도구에 웨이퍼 자동 로드/언로드 (automatic loading/unloading) 가 포함되어 설정과 조정 시간이 크게 단축됩니다. "웨이퍼 '의 수동 적재 를 제거 함 으로써" 웨이퍼' 를 긁을 위험성 이 크게 감소 된다. 자동 로드/언로드 프로세스 (automated loading/unloading process) 외에도 최고의 품질을 제공하는 노즐 청소 자산이 있습니다. 48 GPAW-III (GPAW-III) 는 프로세스 전반에 걸쳐 간단한 키패드 또는 마우스 제어 작업을 가능하게 하는 직관적인 그래픽 사용자 인터페이스로 프로그래밍됩니다. 랩핑 속도, 압력, 공구 선택 등의 매개변수를 실시간으로 조정하여 정확도와 신뢰성을 향상시킬 수 있습니다. 이 모델은 또한 실시간 웨이퍼 표면 측정 (real-time wafer surface measurement) 및 표면 응력 감지 기술 (surface-stress sensing technologies) 을 포함한 광범위한 도량형 및 제어 시스템을 갖추고 있습니다. 또한, 내장 안전 및 환경 보호 기능은 안전하고 지속 가능한 운영을 보장합니다. SPEEDFAM 48 GPAW-III는 복잡한 기판을 처리 할 때에도 일관되고 반복 가능한 결과를 제공하도록 설계되었습니다. 유연성, 안정성, 뛰어난 성능으로, 이 웨이퍼 그라인딩, 랩핑, 다듬기 장비는 다양한 어플리케이션에 이상적인 선택입니다.
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